CN107134507-CN201710331491-具有梯度成分太阳能电池吸收层铜铟硫硒薄膜的制备方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 107134507 A (43)申请公布日 2017.09.05 (21)申请号 201710331491.1 (22)申请日 2017.05.11 (66)本国优先权数据 201611119848.1 2016.12.08 CN (71)申请人 福建师范大学 地址 350108 福建省福州市闽侯县上街大 学城旗山校区师大科技处 (72)发明人 陈桂林　王伟煌　陈水源　黄志高　 (74)专利代理机构 福州君诚知识产权代理有限 公司 35211 代理人 张耕祥 (51)Int.Cl. H01L 31/18(2006.01) H01L 31/032(2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 具有梯度成分太阳能电池吸收层铜铟硫硒 薄膜的制备方法 (57)摘要 本发明涉及氧化物纳米颗粒制备太阳能电 池吸收层铜铟硫硒薄膜梯度成分的制备方法。首 先通过低温固相反应合成含有铜和铟的氧化物 纳米颗粒粉体形成前驱体浆料；将前驱体浆料在 衬底上进行沉积形成铜铟氧化物前驱体薄膜，干 燥后保存；将的前驱薄膜先后在硫气氛和硒气氛 下进行退火，得到本发明所述的吸收层CISSe薄 膜；将退火处理得到的CISSe，在硫气氛下进行表 面快速硫化处理得到S/Se成分梯度结构的太阳 能电池吸收层CuIn(S,Se) 薄膜。本发明具有合 2 成工艺简单、制备设备不复杂、原料成本低廉、材 A 料利用率高、可大面积均匀指标、薄膜成分以及 7 厚度易控等优点，适用于大规模的工业生产。 0 5 4 3 1 7 0 1 N C CN 107134507 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种具有梯度成分太阳能电池吸收层铜铟硫硒薄膜的制备方法，其特征在于： 步骤一：通过一步低温固相反应合成含有铜和铟的氧化物纳米颗粒粉体，并将氧化物 纳米颗粒分散于有机溶剂中形成固含量为285～300mg/ml稳定的前驱体浆料； 步骤二：对衬底表面进行清洗，将步骤一所述前驱体浆料在衬底上进行沉积形成铜铟 氧化物前驱体薄膜，其厚度控制在1～3μm之间，干燥后保存； 步骤三：将在步骤二得到的含有铜和铟氧化物的前驱薄膜，先后在硫（S）气氛和硒（Se） 气氛下,使用密闭或者流通的管式炉内进行退火，得到所述的吸收层CISSe薄膜； 步骤四：将在步骤三退火处理得到的CISSe，在硫（S）气氛下进行表面快速硫化处理得 到S/Se梯度成分结构的太阳能电池吸收层CuIn(S,Se) 薄膜。 2 2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池吸收层铜铟硫硒薄膜梯度成分的制备方法， 其特征在于步骤一所述的低温固相反应合成氧化物纳米颗粒法是指：将铜的无机盐和铟的 无机盐，与反应剂碳酸氢铵于研钵内进行研磨混合，而后在中低温下烧结，获得氧化物纳米 颗粒。 3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池吸收层铜铟硫硒薄膜梯度成分的制备方法， 其特征在于所述的铜的无机盐是指硝酸铜、乙酸铜中的一种或两种任意比例的混合物；所 述铟的无机盐是指硝酸铟、醋酸铟中的一种或两种任意比例的混合物；所述铜的无机盐和 铟的无机盐中，铜和铟两者之间的摩尔比为1︰1。 4.根据权利要求2所述的一种太阳能电池吸收层铜铟硫硒薄膜梯度成分的制备方法， 其特征在于所述的碳酸氢铵，其使用量为铜和铟摩尔总量的1.1