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- 2018-03-18 发布于天津
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第卷第期光学精密工程年月文章编号用于微机电系统的微型带阻滤波器黄闯陈迪陈翔刘景全朱军魏雯婕魏泽勇李宏强上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室上海同济大学物理系上海摘要为了实现微机电系统微波信号滤波开发了适用于微机电系统的小尺寸左右手复合传输线微波带阻滤波器对该滤波器的原理结构特点加工工艺等进行了研究根据左手材料理论介绍了具有蛇形槽单元的滤波器结构以蛇形槽结构的一个单元为例对比传统插指电容左手单元结构提取了蛇形槽的等效电路并分析了蛇形槽结构单元的优点即在相同的面
第 卷 第 期 光学 精密工程
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Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．６
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