- 1、本文档共9页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
三自由度超精密量测探头与三轴向光学式加速度计之研制-南台科技大学
行
度精量度
Development of a 3-DOF Ultra Precision Measurement Probe and
Triaxial Optical Accelerometer
NSC 94-2212-E-218-010
行94 年08 01 95 年07 31
良
參林李
pick-up head of a commercially available DVD.
靈 度 The accelerometer detects the focus error signal
(FES) generated by a moving object via a
度度
built-in four-quadrant photodiode. The linear
(DVD-ROM)讀 路
range of the FES curve is employed to indicate
量理 量 the displacement of the seismic mass relative to
不讀 the base of the accelerometer. The acceleration
量 S利 S acting on the base is then determined on the
錄量 basis of the displacement. The experimental
離 度 results reveal that the noise equivalent
度 acceleration (NEA) is less than 30 µg/√Hz.
度 30µg/√Hz This study used the pick-up head from the
commercial DVD-ROM as the basis for optical
度 量 path, and drilled a 2mm hole on the focusing
DVD 2mm object lens. After combined with the design of a
兩 DVD beams plitter, the laser beam source of the two
兩 DVD formed t
文档评论(0)