BiCMOS剖面图.pdf

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2018-03-14 发布于河南
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BiCMOS剖面图

Chapter 2 – Section 8 (5/02/04) Page 2.8-2 + + n and p Buried Layers Starting Substrate: p-substrate 1µm BiCMOS-01 5µm n+ and p+ Buried Layers: NPN Transistor PMOS Transistor NMOS Transistor n+ buried layer p+ buried n+ buried layer p+ buried layer layer p-substrate 1µm BiCMOS-02 5µm CMOS Analog Circuit Design © P.E. Allen - 2004 Chapter 2 – Section 8 (5/02/04) Page 2.8-3 Epitaxial Growth NPN Transistor PMOS Transistor NMOS Transistor n-well p-well n-well p-well p-type Epitaxial Silicon n+ buried layer p+ buried n+ buried layer p+ buried layer layer p-substrate