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第6章 固态传感器 ;固态传感器利用某些固体材料的机械、电、磁等的物性型变化来实现信息的直接测量。制造固态传感器的固体材料以半导体材料用得最多。 本章主要对利用半导体技术制造的磁敏、湿敏等几类固态传感器的原理及相关特性进行介绍。 ;第6章 固态传感器 ;6.1.1 霍尔式传感器;6.1 磁敏传感器 ;6.1.1 霍尔式传感器 ;霍尔效应和霍尔元件;霍尔效应和霍尔元件;霍尔元件基本特性;霍尔元件基本特性;;保持KH·I乘积不变，抵消灵敏度系数KH因温度增加的影响。基于这一思想，可以采用图6-7所示的补偿电路。 设在某一基准温度T0时，恒流源输出电流为I，霍尔元件 的控制电流为IH0，霍尔元件的内阻为R0，补偿电阻r0上流过的电流为I0，根据上图可得; 当温度上升△T达到温度T时， 霍尔元件的内阻为R=R0(1+β△T)， 补偿电阻的阻值为r=r0(1+δ△T)， ?、?分别为霍尔元件内阻、补偿电阻的温??系数 ; 由于霍尔元件灵敏度温度系数?、补偿电阻温度系数?比霍尔元件内阻温度系数?小得多，即：????，????，于是式（6-11）可以简化为：;采用热敏电阻;霍尔式传感器的应用;霍尔式微位移传感器 ;6.1.2 其他磁敏传感器 ; 运动的载流子受到洛伦兹力的作用而发生偏转，载流子散射几率增大，迁移率下降，于是电阻增加。这种现象称为磁电阻效应，简称磁阻效应。 当温度恒定，在弱磁场范围内，磁阻与磁感应强度(B)的平方成正比。对于只有电子参与导电的最简单的情况，理论推出磁阻效应的表达式为： ;电阻率的相对变化;磁敏二极管的P型和N型电极由高阻材料制成，在P、N之间有一个较长的本征区I。本征区I的一面磨成光滑表面（I区），另一面打毛，设置成r区，因为电子—空穴对易于在粗糙表面复合而消失。;磁敏二极管; 6.1 磁敏传感器 6.2 湿敏传感器 6.3 其他固态传感器 ;;6.2.1 湿敏传感器基础 ;绝对湿度;相对湿度;湿敏传感器 主要特性;6.2.1 湿敏传感器基础 ;6.2.1 湿敏传感器基础 ;6.2.2 氯化锂湿敏传感器;抗沾污能力强; 该湿度传感器的感湿体是MgCr2O4-TiO2系多孔陶瓷。MgCr2O4属于P型半导体，其特点是感湿灵敏度适中，电阻率低，阻值温度特性好。为改善烧结特性和提高元件的机械强度及抗热骤变特性，在原料中加入一定的TiO2。这样在1300℃的空气中可烧结成相当理想的瓷体。; 此类湿度敏感元件是把感湿粉料（金属氧化物）调浆，涂覆在制好的梳状电极或平行电极的滑石瓷、氧化铝或玻璃等基板上，经低温烘干后制成。四氧化三铁、五氧化二钒及三氧化二铝等湿敏元件均属此类，涂覆膜型湿敏器件有多种品种，其中比较典型且性能较好的是Fe3O4湿敏器件。; 利用三氧化二铝做电介质构成电容器，由于多孔的三氧化二铝薄膜易于吸收空气中的水蒸汽，从而改变了其本身的介电常数，这样电容器的电容值就会随着空气中水蒸汽分压而变化，从而可以测量出空气的相对湿度。 目前以铝为基础的湿敏元件在有腐蚀剂和氧化剂的环境中使用时，都不能保证长期稳定性，但以钽作为基片，利用阳极氧化法形成氧化钽多孔薄膜是一种介电常数高、电特性和化学特性较稳定的薄膜，以此薄膜制成电容式湿敏元件可以大大提高元件的长期稳定性。 ;6.2.4 高分子聚合物湿敏传感器;利用醋酸纤维作为感湿材料，形成电容式湿敏元件。其响应速度快，重复性能好，最适宜的工作温度范围为0～80℃。; 6.1 磁敏传感器 6.2 湿敏传感器 6.3 其他固态传感器 ;;6.3.1 气敏传感器;6.3.1 气敏传感器;半导体气敏传感器类型及结构; 这类器件以半导体SnO2为基体材料（其粒度在1μm以下），添加不同杂质，采用传统制陶方法进行烧结。烧结时埋入加热丝和测量电极，制成管芯，最后将加热丝和测量电极焊在管座上，加特制外壳构成器件。; 薄膜型气敏器件采用蒸发或溅射工艺在石英基片上形成氧化物半导体薄膜（其厚度约在100nm以下），制作方法也很简单。; 这种器件是将氧化物半导体材料（如SnO2或ZnO等材料）与硅凝胶混合制成能印刷的厚膜胶，再把厚膜胶用丝网印制到事先装有铂电极的绝缘基片上（如Al2O3等），经烧结制成。;半导体气敏传感器类型及结构;半导体气敏传感器类型及结构;6.3.2 半导体色敏传感器;半导体色敏传感器的基本原理;半导体色敏传感器的基本特征;半导体色敏传感器的基本特征;半导体色敏传感器的基本特征;6.3.3 离子敏感器件; 在栅极G不加偏压时，栅氧化层下面的硅是P型，而源漏是N型，故源漏之间