金 刚石刀具超精密切削加工.pptVIP

1.1 精密机械与精密加工技术的关系 超精密加工技术的基础 大型光学元件——超精密加工？检测？ 特种型面光学元件——超精密加工？ 第2章 超精密切削与金刚石刀具 2.1 金刚石超精密加工技术概述 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 2.2 金刚石刀具结构与特性 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 2.3 金刚石超精密加工工艺 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 第2章 超精密切削与金刚石刀具 （2）球面镜切削示例 球面镜加工原理 1-主轴；2-凹面镜；3-刀具轴 （3）大型金刚石刀具切削机床示例 LLNL的LODTM超精密车床 Work table: 1.65 m dia Figure accuracy: 0.028 μm Surface finish :3.5-9.0 nm 平面度0.06 μm；表面粗糙度Rmax0.02 μm 具备加工面型检测功能，以补偿刀具磨损 (4) 微构形或曲面加工 菲涅耳(Fresnel)透镜 2.2.1 刀具角度知识的复习 前刀面Aγ 后刀面Aa 刀尖 ——刚形成的切屑沿其流出的刀面 —— 与工件加工表面相对的刀面 —— 主、副切削刃的实际交点，为了强化刀尖，一 般都在刀尖处磨成折线或圆弧形过渡刃。 切削刃S —— 前刀面与后刀面的交线，承担主要切削工作 1）前角γ0 --前刀面与基面间夹角 3）主偏角kr --主切削刃在基面上投影与进给方向间夹角 4）刀尖角εr --主切削刃与副切削刃在基面上投影间夹角 5）刃倾角λs -- 主切削刃与基面之间夹角 2）后角α0 -- 后刀面与切削平面间 夹角 2.2.2 超精密切削对刀具性能的要求 3) 切削时切削刃的粗糙度将决定加工表面的粗糙度, 普通刀刃的粗糙度Ry0.3~5 μm，金刚石刀具刀刃的粗糙度Ry0.1~0.2 μm，特殊情况Ry1nm，极难刃磨。 1) 极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量，保证长的刀具寿命。 2) 刀刃无缺陷，足够的强度，耐崩刃性能。 4) 化学亲和性小、与工件材料的抗粘结性好、摩擦系数低，能得到极好的加工表面完整性。 5) 刀具刃口锋锐度ρ 刃口圆弧半径ρ越小，切削厚度就越薄，越能够减小切削表面弹性恢复和表面变质层。 ρ与切削刃的加工方位有关，普通刀具5~30μm，金刚石刀具10nm，最好能够 5nm； 从物理学的观点，刃口半径ρ有一极限（后续介绍）。 ρ 2.2.3 天然金刚石的特性 1000 2200 2400 3200 3500 6000-8500 6000-10000 硬度 HV 高碳马氏体 Al2O3 WC TiC SiC CBN Diamond —— 硬度特性 人造金刚石磨料 2.2.3 天然金刚石的特性 （1）良好的导热特性（热导率和比热容高）； —— 热化学特性 （3）膨胀系数低，抗热冲击； （2）在相同条件下计算其摩擦面的温升，仅为其它工具 材料的1/5； （4）耐热性和耐热损伤性有一限度。最大问题是金刚石 的氧化和石墨化； （5）超过700℃ ，会发生氧化现象； （6）温度大于773K时，稳定结构分解，产生石墨化。 每日一题 一种非球面镜的加工方案 加工方法的选择及理由？ 加工工具？ 加工设备