准分子激光全固态脉冲电源设计与研究-强激光与粒子束.pdfVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２１ １１ Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．１１ 　 　 年 月 ， ２００９ １１ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｎｏｖ． ２００９ 　 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００９１１１７５００５ 　 准分子激光全固态脉冲电源设计与实验研究 游利兵， 梁 勖， 余吟山， 李 会， 王庆胜， 王效顺 　 　 　 　 　 　 　 （中国科学院 安徽光学精密机械研究所 安徽省光子器件与材料重点实验室，合肥 ２３００３１） 摘 要： 针对脉冲能量 的 准分子激光器，设计了基于可控硅开关结合三级磁脉冲压缩开 ５ ８ｍＪ ＡｒＦ 　　 　 　 ～ 关的全固态脉冲电源，采用国产可控硅和磁开关材料，获得了上升时间约 １５０ｎｓ，电压 １０ １４ｋＶ，传递能量 ～ ０．３５ ０．６８Ｊ的激励脉冲，并实现了对准分子激光器快放电激励。三级磁开关总效率 ３５％，分析表明磁开关 ～ 损耗较大主要原因为电容能量转移不充分、导线铜损及磁芯材料铁损较大，并提出了相应改进办法。 关键词： 准分子激光； 全固态脉冲电源； 磁开关； 可控硅； 磁脉冲压缩 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： ； 文献标志码： ＴＮ２４５ ＴＮ８６ Ａ 　　 　 　 　　　　 　 放电激励准分子激光器广泛应用于工业、医疗和科研等领域。器件一般采用闸流管释放高压储能电容器 　　 ［ ］ １２ 中的能量来产生快放电激励。该模式优点是结构紧凑，主放电回路简单 。在半导体光刻应用中，准分子激 光器重复频率达数 ，闸流管的约 ９次脉冲放电寿命显得有限，加之闸流管的残余振荡、预热启动及其老 ｋＨｚ １０ ［ ］ ３４ 化过程中的自导通等缺点使上述快放电模式不能适应光刻等高重复频率应用的需求 。 ［］ ５ 年 首次提出用磁脉冲压缩技术来产生大功率脉冲 ，随后国外对磁开关应用进行了广泛的 １９５１ Ｍｅｌｖｉｌｌｅ