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2018-03-21 发布于河南
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SAW技术研讨.ppt

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SAW技术研讨

2006 - REV 0 UNISEM CONFIDENTIAL 为什么我们要规范2x2以下package的切割顺序? Background: 2008-10-29 PS007在run MXL0842008A000(1.2x1.6)过程中有一个PAD出现异常offset:此PAD CH2方向左边目标正常切割，右边目标整体向上偏移，在此PAD右边第14、15刀位置明显与以下切痕INDEX存在一定的角度。除了1.2x1.6的产品以外,2x2等小package的产品在PS006,007,008上也出现过同种问题! Cutting order normal special Standard Cutting order setting: Special: 1. Background 1. Background 刀测高包括接触和非接触（NCS—Non contact setup）测高两种。 2-2 Non contact setup error------- NCS Sensor why why NCS Setup error Sensor sensitivity (voltage) lower Incorrect voltage setting for the setup board Water drops remained on the NCS sensor NCS sensor is soiled The fiber of the NCS sensor is bend 3. Improvement Plan If the sensitivity of the BBD is not comes between or equal to7%-15% and 90%-99%.follow this step 1.Cleaning this sensor surface2.Adj the amplifier of BBD 3-1:BBD sensor Screwdriver If when the sensitivity level Remains unduly low after Cleaning And amplifier adjustment . it is may be broken 3-2:NCS sensor 1.Cleaning this sensor surface with water on and air on2.Adj the amplifier of NCS If the NCS voltage level not within a range of 100% ±2%(4.9to 5.1V) follow this step If when the sensitivity level Remains unduly low after Cleaning And amplifier adjustment . it is may be broken Blade workpiece tape Workpiece thickness Tape thickness Cut depth Blade height Blade height elements Blade height=workpiece thickness+ tape thickness- cut depth “0” point 0.55 STSLP 0.75 TSLP 0.85 SLP thickness Workpiece device Workpiece thickness Tape saw blade height Tape saw blade height This is the blade height setup screen The value blade height set will be 0.060mm—0.070mm in guiding . But from so many experiments this value set will be better buy: 3.0m 0.060mm 2x2 especially1x1 4m 0.065mm =2x2 Auto setup length Blade height size Screen about blade auto setup 测高失误的潜在威胁 1.下刀过深导致chuck table的tape乃至金属台被切成无数凹痕. Height meas