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掩模管理系统概述 根据掩膜管理系统的功能要求、技术指标要求和位置空间要求，进行概念设 计和总体设计，确定总体组成和各部件功能、功能仿真、系统管理流程、单元部 件技术要求、单元部件机构方案，在此基础上，进行各部件机构设计、控制系统 软硬件设计、控制节拍设计，完成了掩模版库系统、掩模传输机械手、四象限预 对准探测系统和集散式控制系统等关键技术，完成了掩模管理系统的设计、加工、 装配、集成、调试、部分测试工作。 一、掩膜管理系统取得的主要成果 1) 系统总体技术方案 掩膜管理系统由机械、检测和控制系统组成。 机械系统包括掩膜版库系统、掩膜传输机械手和辅助设备。掩膜版库系统主 要包括标准版盒、版盒标准机械接口(SMIF) 、版匣升降台、开盒机构和保险机构， 其功能是：配合机械手自动完成上掩膜版和下掩膜版的过程。掩膜传输机械手包 括：掩膜版叉、多自由度掩膜传输精密定位机构。其功能是：完成上掩膜版和下 掩膜版的输送和对准精密定位。辅助设备主要包括：掩膜版库支撑臂、传输机械 手支架、底座、风浴系统、走线机构、配电箱、外壳、连接件等。 检测系统包括状态检测、条码阅读器、四象限预对准探测。状态检测包括： 运动控制检测、版盒安装检测、版盒开启检测、掩膜版状态检测。条码阅读器检 测版号是否正确，防止取错版。四象限预对准检测包括：粗预对准和精确预对准 检测，粗预对准完成上掩膜版的粗定位检测；精确预对准完成掩膜版和光刻机镜 头的预对准检测。 控制系统主要包括：流程控制、信息处理、硬件控制、输入输出控制。 系统组成如图 1。确定了系统组成和各部分功能，对系统工作过程进行仿真。 版盒系统 传输机械手 机械手外壳 版 掩 库 膜 升 控 降 制 系 系 统 统 版 传 库 输 支 机 撑 械 臂 手 支 架 图1 掩膜管理系统组成 1 2) 掩膜管理流程 根据功能要求和仿真研究，确定如下管理流程： (1) 初始化过程： 版库内掩膜状态检测； 升降到版盒顶部，版盒底部与整个版盒锁紧； 更换版盒； 版库内掩膜状态检测； 版库复位。 (2) 上掩膜版过程： 掩膜机械手沿 Y 向伸入版库； 机械手抬起，使掩膜版与版盒脱离； 版盒落入版叉，气动塞伸出，顶住掩膜版； 机械手沿 Y 向移出版库； 条码阅读器读取条码，核对条码； 机械手运动到预对准位置； 上版升降台落下 1 个模版间隔位置（定位模版）； 四象限探测，预对准； 机械手运动到 R-chuck 上方； 四象限探测掩膜板与镜头关系，精细预对准； R-pins 从掩膜台上升起，接版，真空吸附； 气动塞缩回； R-pins 下降，气