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1 主题内容与通用范围 本标准给出了电力半导体器件工艺用高纯水(以下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和规则。 本标准适用于去离子处理后的高纯水。 2 引用标准?? GB11446电子级水及其检测方法 3术语 3．1 电导率electrical conductivityctricalconduc2ivity 在规定温度下，1cm3水溶液两相对面之间测得的电阻值的倒数。电导率通常以μS/cm为单位。 水的理论电导率为0.0548μs/cm(25℃时)。 3．2电阻率 resistivity 电导率之倒数。纯水的理论电阻率为18.3MΩ.cm(25℃时)。温度升高时电阻率下降。 3．3颗粒性物质granular sulbstance 除气体以外，以非液态形式分散在水中，并形成非均匀相混合物的物质。 3．4总有机碳(TOC)total organic carbon 水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被—般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊化的有机物。 3．5总固体 total solid 水样蒸发、烘干后残留的固总量。 3. 6全硅 total silicon ?水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量。全硅和可溶性硅之差即叫为胶体硅。 3．7高纯水high-pure water, ultrapure water 电阻率在5MΩ?cm以上，各种形式存在的物质含量有一定规定