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石英晶体 天然形成的石英晶体外形 在晶体线性弹性范围内,极化强度PX与应力σX成正比,即 式中, FX——X轴方向的作用力; d11——压电系数,当受力方向和变形不同时,压电系数也不同,石英晶体d11=2.3×10-12CN-1; l、b——石英晶片的长度和宽度。 当晶片受到沿X轴方向的压缩应力σX作用时,晶片将产生厚度变形,即纵向压电效应(Thickness expansion) ,并发生极化现象。 2.2.2 压电材料 压电材料可以分为两大类:压电晶体(单晶体),压电陶瓷(多晶体)。 1.压电晶体 (1)石英晶体 石英(SiO2)是一种具有良好压电特性的压电晶体。其介电常数和压电系数的温度稳定性相当好,在常温范围内这两个参数几乎不随温度变化,如下两图。 由图可见,在20℃~200℃范围内,温度每升高1℃,压电系数仅减少0.016%。但是当到573℃时,它完全失去了压电特性,这就是它的居里点。 dt/d20 石英的d11系数相对于20℃的d11温度变化特性 相对介电常数ε 石英在高温下相对介电常数的温度特性 石英晶体的突出优点是性能非常稳定,机械强度高,绝缘性能也相当好。但石英材料价格昂贵,且压电系数比压电陶瓷低得多。因此一般仅用于标准仪器或要求较高的传感器中。 因为石英是一种各向异性晶体,因此,按不同方向切割的晶片,其物理性质(如弹性、压电效应、温度特性等)相差很大。在设计石英传感器时,根据不同使用要求正确地选择石英片的切型。 (2)水溶性压电晶体 属于单斜晶系的有酒石酸钾钠(NaKC4H4O6·4H2O),酒石酸乙烯二铵(C4H4N2O6,简称EDT),酒石酸二钾(K2C2H4O6·H2O,简称DKT),硫酸锂(Li2SO4·H2O)。属于正方晶系的有磷酸二氢钾(KH2PO4,简称KDP),磷酸二氢氨(NH4H2PO4,简称ADP),砷酸二氢钾(KH2AsO4,简称KDA),砷酸二氢氨(NH4H2AsO4,简称ADA)。 2.压电陶瓷 (1)? 钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡(BaTiO3)是由碳酸钡(BaCO3)和二氧化钛(TiO2)按1:1分子比例在高温下合成的压电陶瓷。 它具有很高的介电常数和较大的压电系数(约为石英晶体的50倍)。不足之处是居里温度低(120℃),温度稳定性和机械强度不如石英晶体。 (2)? 锆钛酸铅系压电陶瓷(PZT) 锆钛酸铅是由PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb(Zr、Ti)O3。它与钛酸钡相比,压电系数更大,居里温度在300℃以上,各项机电参数受温度影响小,时间稳定性好。此外,在锆钛酸中添加一种或两种其它微量元素(如铌、锑、锡、锰、钨等)还可以获得不同性能的PZT材料。因此锆钛酸铅系压电陶瓷是目前压电式传感器中应用最广泛的压电材料。 (3)压电聚合物 聚二氟乙烯(PVF2)是目前发现的压电效应较强的聚合物薄膜,这种合成高分子薄膜就其对称性来看,不存在压电效应,但是它们具有“平面锯齿”结构,存在抵消不了的偶极子。经延展和拉伸后可以使分子链轴成规则排列,并在与分子轴垂直方向上产生自发极化偶极子。当在膜厚方向加直流高压电场极化后,就可以成为具有压电性能的高分子薄膜。这种薄膜有可挠性,并容易制成大面积压电元件。这种元件耐冲击、不易破碎、稳定性好、频带宽。为提高其压电性能还可以掺入压电陶瓷粉末,制成混合复合材料(PVF2—PZT)。 当压电传感器中的压电晶体承受被测机械应力的作用时,在它的两个极面上出现极性相反但电量相等的电荷。可把压电传感器看成一个静电发生器,如图(a)。也可把它视为两极板上聚集异性电荷,中间为绝缘体的电容器,如图(b)。其电容量为 当两极板聚集异性电荷时,则两极板呈现一定的电压,其大小为 2.4 等效电路与测量电路 因此,压电传感器可等效为电压源Ua和一个电容器Ca的串联电路,如图(a);也可等效为一个电荷源Q和一个电容器Ca的并联电路,如图(b)。 书p92 如果用导线将压电传感器和测量仪器连接时,则应考虑连线的等效电容,前置放大器的输入电阻、输入电容。 Ci 前置放大器输入电容;Cc 连线电容;Ra传感器的漏电阻;Ri前置放大器输入电阻 Ca Ra Cc Ri Ci Q 电压源等效电路 电荷源等效电路 可见,压电传感器的绝缘电阻Ra与前置放大器的输入电阻Ri相并联。为保证传感器和测试系统有一定的低频或准静态响应,要求压电传感器绝缘电阻应保持在1013Ω以上,才能使内部电荷泄漏减少到满足一般测试精度的要求。与上相适应,测试系统则应有较
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