寄生式时栅传感器动态测量误差的贝叶斯建模-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棿 暋 棻棸 暋 斨旓旍棶棽棿暋斘旓棶棻棸 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑 暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻椂 棻棸 暋 暋 暋 斚斻旚棶棽棸棻椂 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻椂棻棸灢棽椀棽棾灢棸椆 寄生式时栅传感器动态测量误差的贝叶斯建模 棻灣 棻 棻 棽 棾 棳 棳 棳 棳 杨洪涛 章刘沙 周 姣 费业泰 彭东林 暋 棬 棳 椈 安徽理工大学机械工程学院 安徽淮南 棻棶 棽棾棽棸棸棻 棳 椈 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 安徽合肥 棽棶 棽棾棸棸棸椆 棳 棭 重庆理工大学电子信息与自动化学院 重庆 棾棶 棿棸棸棸椀棿 椇 棳 棳 摘要 为了提高寄生式时栅传感器的测量精度 分析了它的工作原理和动态误差组成 得到其主要误差分量为常值误 暍 暎 棳 棳 差 周期误差和随机误差等 针对寄生式时栅误差特点 建立了寄生式时栅动态误差高精度预测模型 并与其他建模方 暎 棳 棳 法进行了比较 选用插入标准值的贝叶斯预测模型 以实际测量的传感器第一个对极动态误差数据进行建模 在后续对 棳 棳 暎 极特定位置插入部分实际误差测量数据 建立误差预测模型 预测了传感器后 个对极的动态误差 另选用三次样条 椄棾 棳 暎 棳 插值和 神经网络建模方法对寄生式时栅整圈动态误差建模 并与建立的误差模型进行了对比 验证实验表明 三次 斅斝 棬 棭棳 棬 棭椈 棬 棭 样条插值建模时间最短 棸棶椂棽旙 但其建模精度不高 棻椂棶棸椀棸棸曞 贝叶斯动态模型建模时间 棸棶椄椂旙略长于三次样条插 棳 棬 棭椈 棬 棭棳 棬 棭暎 值 但建模精度最高 棸棶棿棻椀棾曞 斅斝神经网络建模