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光栅刻划机直线度误差补偿的研究
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第 卷 第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析
３７ ３ Ｖｏｌ．３７Ｎｏ．３ ９４６９５１
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年 月 ，
２０１７ ３ Ｓｅｃｔｒｏｓｃｏ ａｎｄＳｅｃｔｒａｌＡｎａｌｓｉｓ Ｍａｒｃｈ ２０１７
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光栅刻划机直线度误差补偿的研究
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黄元申 ，董成成 ，黄运柏 ，盛 斌 ，周红艳 ，孙 乐 ，杨海马 ，张大伟
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１．教育部光学仪器与系统工程研究中心 上海 ２０００９３
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２．上海市现代光学系统重点实验室 上海 ２０００９３
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摘 要 中阶梯光栅是一种特殊的衍射光栅 它以高的衍射级次和大的衍射角来工作 具有高分辨率 全波
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闪耀等特性 已广泛应用于高端光谱仪器之中 极大地促进了航天航空 天文 医疗 军事 环境等尖端科
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技的发展 但是专业的刻划系统需要定制 价格昂贵 使用已成熟的超精密加工设备来加工中阶梯光栅 可
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以大大降低中阶梯光栅母版的制备成本 超精密单点金刚石车床制备中阶梯光栅时 系统直线度不好 存在
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较大的累积误差 导致中阶梯光栅衍射波前较差 达不到制备要求 为了减小超精密单点金刚石车床固有的
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直线度误差 对超精密单点金刚石车床进行了误差补偿 首先 以累积误差曲线为依据进行第一次补偿 实
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验结果表明 当补偿系数为 ０．７５ ０．８５时 此时衍射波前的ＰＶ 峰谷值 值在约 ４００ｎｍ 一次直线度补偿
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