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一、薄膜干涉 11.3 分振幅干涉 干涉现象 两条光线的光程差 考虑到有半波损失 薄膜干涉分为 ①. 等倾干涉——d不变,光程差仅由入射光线的倾角决定。 ②.等厚干涉——i不变,光程差与薄膜厚度有关。 增透膜与增反膜 当薄膜上下表面反射回的光 的光程差 时,反射光 干涉相长,该膜即起到“增反” 的作用。 而当 时,反射光 干涉相消,该膜即起到“增透” 的作用。 在玻璃表面镀一层均匀薄膜, 为使可见光中对人眼最敏感 的光反射相消,求膜的最小 厚度。 玻璃 空气 纹暗 减反膜 增透膜 例1 解 二、等厚干涉 如两块平板玻璃的两个表面间构成很小的夹角,即构成一空气劈尖。 1 2 S * M 相干光的获得 观察劈尖干涉的装置 1.劈尖 定量讨论干涉条纹的形成: 光程差的计算 ? n · A 反射光2 反射光1 入射光(单色平行光垂直入射) e 介质 B ? 反射光存在半波损失. + 半波损失? 明纹 暗纹 当光程差等于波长的整数倍时,出现干涉加强的现象,形成明条纹;当光程差等于半波长的奇数倍时, 出现干涉减弱的现象,形成暗条纹。 设相邻两明(暗)纹间距为l 相邻明纹(或暗纹)所对应的薄膜厚度之差相同 为该膜内光波长的一半 ? l ?e 明纹 暗纹 条纹等间距分布 例1.在半导体元件生产中,为了测定硅片上 SiO2 薄膜的厚度,将该膜的一端腐蚀成劈尖状,用波长? =589.3nm的钠光照射后,观察到劈尖上出现9条暗纹,且第9条在劈尖斜坡上端点M 处。已知SiO2 的折射率n =1.46, Si的折射率为3.42,试求SiO2薄膜的厚度。 解:薄膜的厚度e,由暗纹条件 ? = 2ne 第9条暗纹对应于k =8 ∴ e = (2k+1)? / 4n 所以SiO2薄膜的厚度为1.72 ?m。 k= 0, 1, 2… Si O M SiO2 = (2k+1)? / 2 根据给定的条件判断在劈尖上总共可以观察到多少条明纹、多少条暗纹 条件: 、 、 的关系 、 的关系 图例: 分束镜M 显微镜 平凸透镜 平晶 一束单色平行光垂直照射到此装置上时,所呈现的等厚条纹是一组以接触点O为中心的同心圆环。 2.牛顿环 实验装置及光路 S . 光程差 明纹中心 暗纹 半径 依据公式 测透镜球面的半径R : 已知? , 测 m、rk+m、rk,可得R 。 测波长λ: 已知R,测出m 、 rk+m、rk, 可得λ。 检验透镜球表面质量 标准验规 待测透镜 暗纹 ? 牛顿环的应用 可得
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