测控仪器设计2011上课第三章节-new幻灯片.ppt

（二）差动比较测量原理 1、电学量差动比较测量 差动电路 桥式差动电路 双端差动电路 （二）差动比较测量原理 1、电学量差动比较测量 差动电路 电感传感器 铁心 线圈 衔铁 测杆 被测工件 差动式电感传感器测量原理 （二）差动比较测量原理 1、电学量差动比较测量 差动电路 电感传感器 2、光学量差动比较测量 光源 双通道差动法透过率测量原理 Sd I 标准通道 II 测量通道 Md - + ? K 差分放大器 指示表 （三）零位比较测量原理 举例：测量偏振面转角的零位测量原理 光源 起偏器 被测件 检偏器 读数装置 光电检测器 放大器 指示表 三、补偿原理 此原理为设计中内容广泛而意义重大的设计原理 应用该原理时应注意： 3、补偿要求 1、补偿环节 2、补偿方法 4、综合补偿（最佳调整原理） 综合补偿举例 1）杠杆齿轮式机械测微仪 测头采用正弦机构 s φ a R r O s 获得最佳调整位置 条件，且为最大值 此两处误差绝对值且为最大值 把 代入上式 将 代入 综合补偿举例 平行光管读数系统 α f’ Z O Z △Z 第四节 测控仪器工作原理的选择和系统设计 一、传感器选择与设计 （1）按其转换功能的不同 位置检测 数值检测 （2）按对原始信号感受方式的不同 （3）按转换放大原理的不同 传感器的选择 书上P95 表3-1 常用传感器的类型 1、被测参数定义 2、测量条件 3、检测效率 4、精度要求 二、标准量及其细分方法的选择 （一）标准量的分类及作用 用来与被测件进行比较、实现测量 用来标定仪器的示值或检定仪器的示值误差 （二）几何量标准器的类型及特点 P96 表3-2 长度标准器 P98 表3-2 角度标准器 （三）标准量的细分方法 光学机械细分法 光电细分法 二、长度及线位移检测 电感位移传感器 德国Heidenhain（海德汉）： 封闭式：量程3000mm，分辨力0.1 ?m 开放式：量程1440mm，分辨力0.01?m 开放式：量程270mm 分辨力1nm 二、长度及线位移检测 激光干涉位移传感器 HP5528A Laser interferometer： 量程：100m 分辨力： 0.01 ?m 角度及角位移检测 1、绝对码光电编码器 原理：平行光源→码盘→ 光电元件→电信号输出 组成：光源、码盘、光电元件 角度及角位移检测 圆光栅传感器 工作原理：莫尔条纹技术 类型：(1) 直线莫尔条纹：条纹 直线 (2) 圆型莫尔条纹：条纹 圆型 RENISHAW 圆光栅：角度分辨率为0.01″ 系统精度为± 0.7″ 三、数据处理与显示装置的选取 （一）数据处理系统功能、类型及去选择 1、进行快速数据处理 2、扩大仪器使用范围 3、提高仪器的精度 4、实现测量过程自动化 （二）显示系统功能、类型及选择办法 1、指示型 2、纪录式 3、数字式 4、打印式 四 运动方式与控制方式的选择确定 1、运动方式：直线与回转 2、控制方式：开环、半闭环、闭环 第5节 测控仪器的主要结构参数与技术指标的确定 1、从精度出发确定仪器的参数 2、从测量范围要求出发确定仪器参数 3、从误差补偿要求来确定参数 4、从仪器分辨率要求来确定仪器参数 第6节 测控仪器的造型设计 一、外形设计 二、人机工程设计 1、外形比例选择 2、外形的均衡与稳定 3、外形风格 4、外形形体的过渡 5、表面装饰处理 I II 结构设计法和补偿法 1、1m激光测长机底座变形的结构布局补偿法 分析几种情况： 1）尾座因变形变化在垂直平面内有倾角△θ 对零位置I 测量时位置II： 光程差的变化量： 2）测量头架在垂直、水平的平面内产生倾斜 符合阿贝原则，可忽略 3）尾座在水平面内产生摆角 不符合阿贝原则，不能补偿，应尽量缩小d值 工作台 床身 基座 平面支承面 圆锥形球窝支承面 V型槽支承面 2、光电光波比长仪消除力变形的结构布局 这种结构设计优点： 能自动定位 无附加内应力 无附加内应力的自动定位设计 应用广泛 平面支承面 圆锥形球窝支承面 V形槽支承面 （二）减少热变形影响的技术措施 A、采用恒温环境条件，减少△t B、选择合适的材料，减少线膨胀的影响 C、采用补偿法补偿温度变化的影响 1、丝杆动态测量仪对环境条件及温度变化影响的补偿 2、扩散硅压力传感器零点温漂的补偿 优点：结构简单、体积小、耐冲击、耐振 缺点：扩散电阻离散性很大 扩散电阻各个电阻温度系数不相等 扩散电阻随温度的非线性变化 当组成桥路时，会产生：