薄膜真空技术幻灯片.ppt

* 抽速可达103 L/s，(和罗茨泵的对比) * 抽速快，要求入口很粗 * * * 工作温度在20K的泵可以达到10-10 Torr 10K, 除H2/He/Ne的所有气体饱和蒸气压均低于10-22Torr 20K~80K, P(T) 10-9Torr 低温捕集：一种气体在另一种气体凝成的多孔性冷凝物上面或内部的吸附, 氩对氢的低温捕集 低温吸附：可将蒸气抽到远低于其饱和蒸气压的压强(H2/He/Ne);若单分子层覆盖很小，表面饱和蒸气压强可降低到蒸气自身的冷凝物上方饱和蒸气压的10-1 ~ 10-12倍 * * * * * 操作步骤 * 优点：响应速度快 缺点：需要校正，对于不同的气体，常有不同的测量范围 * * 真空设备 为什么镀膜需要真空环境？ 膜料 基板 液态 气态 物理气相淀积(PVD, physical vapor deposition) 化学气相淀积(CVD, chemical vapor deposition) 气相淀积的优势: 牢固，外延生长（液相？） 转移到基板表面 固态：箔金 镀膜的一般过程： n=7.2?1022(P/T) 真空的基本知识 一) 真空的定义; 二) 度量单位; 三) 区域划分; 四)真空在薄膜制备中的作用 一) 真空的定义 真空是指压力低于一个大气压的任何气态空间. P=1.33?10-4 帕, T=293K, n= 3.2?1010 个/厘米3 “相对真空” 一个分子在两次碰撞之间所占据的体积: L?d2 V=N? L?d2 P=nkT L=kT/ ?d2 P 二) 真空的表示: 压强大小表示真空. 1标准大气压＝101325 Pa（牛顿／米2 ） 1标准大气压=760mmHg=760(Torr) =1.013x105 Pa≈105 Pa 在真空技术中,除国际单位制的压力单位 Pa外，常以托（Torr）作为真空度的单位。1托等于1毫米高的汞柱所产生的压力: 1Torr＝133Pa 微观参量之间的关系: 压强, “自由程(L, 气体分子间相邻两次碰撞的距离)”, 分子密度(n) 压强高: 真空度低; 压强低: 真空度高 Pa (Pascal, SI, 帕斯卡); 巴(bar): 1bar=105Pa 三）真空区域大致划分 真空划分 压????????力 分子运动状态 Pa Torr 低 真 空 105～102 760～1 粘滞流 viscous flow 中 真 空 102～10-1 1～10-3 中间流（过渡流） intermediate flow 高 真 空 10-1～10-5 10-3～10-7 分子流??molecular flow 超高真空 〈10-5 〈10-7 分子流??molecular effusion 四) 真空在薄膜制备中的作用 减少蒸发分子与残余气体分子的碰撞：f = 1-e-d/l 抑制反应 蒸发分子(F)与残余气体分子(N)到达基板的速率 N/F? 10-1 ： P = 10-4-10-5Pa 真空的获得 一) 机械泵; 二) 分子泵和罗茨泵; 三) 扩散泵; 四) 吸附泵; 五) 溅射离子泵; 六) 升华泵 真空泵的主要参数 抽气速率：单位时间内泵的抽气能力 极限真空：泵所能获得的最低压强 工作范围：泵能正常工作的压强范围 S 抽 速 Sm 最大抽速 单位时间内气体流过抽气系统中任何截面的体积称为体积流量，单位为升/秒， 与气体密度无关 旋片机械泵 常见的机械泵有旋片式、定 片式和滑阀式等。旋片式的噪声 小，运行速度高，被广泛应用在 真空镀膜机上。 主要结构如右图所示 机械泵的工作原理是基于 玻意耳-马略特定律的基础上的 PV＝K （1.1）式 其中K是与温度有关的常数 右图表示机械泵转子在连续旋转过程中的四个典型位置。随着转子的旋转，不断进行吸气、压缩和排气的过程。 假设被抽容积为V，初始压强为P 0,泵内空腔体积为△V，旋片转过半周后，根据（1.1）式则压强P 1为 P1（V+ △V ）＝P0V 即 N个循环后 机械泵的定子和转子间存在影响抽真空的有害空间,泵的抽速随着压强降低而减小。为了减少有害空间的影响通常采用双级泵，双级泵由两个转子串连而成，其中一个转子的出气口为另一个转子的进气口，这样可以将极限真空的单极泵的1Pa提高到10-2Pa 机械泵油的作用非常重要，它起着很好的密封和润滑作用。泵油基本要求是低的饱和蒸气压，一定的粘度和较高的稳