微机电系统与生物芯片培训讲解.pptVIP

一、基因芯片 基因芯片又称为寡核苷酸探针微阵列，是基于核酸探针互补杂交技术原理研制的。所谓的核酸探针只是一段人工合成的碱基序列，在探针上连接一些可检测的物质根据碱基互补原理，利用基因探针在基因混合物中识别特定的基因，研究对象是DNA。 例如：在一块基片表面固定了序列已知的八核苷酸的探针。当溶液中带有荧光标记的核酸序列TATGCAATCTAG，与基因芯片上对应位置的核酸探针产生互补匹配时，通过确定荧光强度最强的探针位置，获得一组序列完全互补的探针序列。据此可重组出靶核酸的序列。 二、蛋白质芯片 蛋白质芯片是生物芯片研制中极有挖掘潜力的一种芯片。因为它是从蛋白质水平去了解和研究各种生命现象背后更为真实的情况。它与基因芯片的原理类似，只是芯片上固定的分子(如酶、抗原、抗体、受体、配体、细胞因子等)是蛋白质，检测的原理是依据蛋白质分子、蛋白与核酸、蛋白与其他分子的相互作用。 蛋白质芯片 血管生成因子（Angiogenesis）抗体芯片 （大鼠、猪、小鼠）抗体芯片 肥胖因子抗体芯片 三、芯片实验室 芯片实验室或称微全分析系统是由瑞士Ciba-Geigy公司的Manz与Widmer在1990年提出。 芯片实验室（Lab-on-a-chip）或称微全分析系统（Micro Total Analysis System， or microTAS）是指把生物和化学等领域中所涉及的样品制备、生物与化学反应、分离检测等基本操作单位集成或基本集成于一块几平方厘米的芯片上，用以完成不同的生物或化学反应过程，并对其产物进行分析的一种技术 。是生物芯片技术的最终目标。 微流控芯片（microfluidic chip） 微流控芯片是当前微全分析系统（Miniaturized Total Analysis Systems）发展的热点领域。 微流控芯片分析以芯片为操作平台, 同时以分析化学为基础,以微机电加工技术为依托,以微管道网络为结构特征,以生命科学为目前主要应用对象，是当前微全分析系统领域发展的重点。 浅谈微机电系统与生物芯片 目 录 MEMS概念 MEMS技术特点 MEMS发展前景 生物芯片的起源与发展 生物芯片的种类 生物芯片的制备 生物芯片的发展前景 MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统. MEMS概念 非纯电路装置 一般意义上的系统集成芯片 广义上的系统集成芯片 电、光、声、热、磁力等外界信号的采集—各种传感器 执行器、显示器等 信息输入与模/数传输 信息处理 信息输出与数/模转换 信息存储 MEMS=广义上的SOC MEMS特点 微型化：MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。 以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传导率接近钼和钨。 批量生产：可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS 集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体， 多学科交叉：涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科，并集约了当今科学技术发展的许多尖端成果。 MEMS系统优势 经济利益 1.大批量的并行制造过程； 2.系统级集成； 3.封装集成； 4.与IC工艺兼容。 技术利益 1.高精度； 2.重量轻，尺寸小； 3.高效能； MEMS技术基础 MEMS的技术基础可以分为以下几个方面： （1）设计与仿真技术； （2）材料与加工技术 （3）封装与装配技术； （4）测量与测试技术； （5）集成与系统技术等。 F 微电子压力传感器 利用了硅的三微结构与机械特性 聚合物薄膜 硅 压敏电阻器 吸湿膨胀 电阻变化 微电子湿度传感器 MEMS的分类 微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微喷射器、微扬声器、微谐振器等 微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、微轴、微连杆等 微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等 硅微齿轮 硅微转子 硅微梁 硅微转动器 硅微拖动器 硅微琴 已经制造出尖端直径为5?m的可以夹起一个红细胞的微型镊子 可以用于医疗手术 硅微型镊子 MEMS的展望 目前，世界上几乎普遍认为MEMS及其相关技术是21世纪的关键