4-1电容式传感器.pptVIP

减小d0，可以使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。此时电容C变为： 因为各种介质的相对介电常数不同，所以在电容器两极板间插入不同介质时，电容器的电容量也就不同。 如果传感器是一只平行板电容，则： 代入（4-20）式得： 可见运算放大器的输出电压与动极板的板间距离d成正比。运算放大器电路解决了单个变极距型电容传感器的非线性问题。 上式是在运算放大器的放大倍数和输入阻抗无限大的条件下得出的，实际上该测量电路仍然存在一定的非线性。 3. 二极管双T形电路 图4-14 二极管双T形电路 (a) C2 C1 UE RL R1 R2 I1 I2 + + 若将二极管理想化，则正半周时，二极管D1导通、D2截止，电容C1被以极短的时间充电至UE ，电容C2的电压初始值为 UE ，电源经R1以I1向RL供电，而电容C2经R2、RL放电，流过RL 的放电电流为I2，流过RL 的总电流IL为I1 和I2的代数和。 Ｕ0 - R2 R1 RL C2 C1 D1 D2 IC1 IC2 + ±UE + + (b) UE + I2? R1 R2 C1 C2 RL + I1? 在负半周时，二极管D2导通、D1截止，电容C2很快被充电至电压UE；电源经电阻R2以I1? 向负载电阻RL供电，与此同时，电容C1经电阻R1、负载电阻RL 放电，流过RL 的放电电流为I2?。流过RL的总电流IL?为I1? 和I2?的代数和。 Ｕ0 - R2 R1 RL C2 C1 D1 D2 IC1 IC2 + ±UE + + 当传感器没有输入时，电流I1=I2，且方向相反，在一个周期内流过RL的平均电流为零。若传感器输入不为0，则C1≠C2, I1≠I2, 此时在一个周期内通过RL上的平均电流不为零，因此产生输出电压，输出电压在一个周期内平均值为 当RL已知时， 输出电压不仅与电源电压的频率和幅值有关，而且与T形网络中的电容C1和C2的差值有关。当电源电压确定后，输出电压只是电容C1和C2 的函数。 则: 双T电路的特点： ①线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响； ②电源周期（频率）、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定； ③输出阻抗与电容C1、C2无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点； ④可用于测量高速的机械运动。 (又称差动脉冲调宽电路) 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器得到对应被测量变化的直流信号。 图4-16 差动脉冲调宽电路 R2 D1 D2 A B R1 C1 C2 U0 F Ur G + - + - Q Q R S 双稳态 触发器 A2 A1 4、脉冲宽度调制电路 t uA uA uB uB uAB uAB UF UF UG UG Ur Ur Ur Ur -U1 U1 T1 U1 -U1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 T2 U1 U1 U1 U1 T1 T2 t t t t t t t t t (a) (b) 差动脉冲调宽电路各点电压波形图 U0 根据电路知识可知： UA、UB—A点和B点的矩形脉冲的直流分量； T1、T2 —分别为C1和C2的充电时间； U1—触发器输出的高电位。 C1、C2的充电时间T1、T2为： 其中： 说明差动脉冲调制电路输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。 则： 第四章 电容式传感器 A ——极板的覆盖面积，单位为m2； ε ——极板间介质的介电系数； d ——两平行极板间的距离，单位为m； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，εr ≈1。 4.1 电容式传感器的工作原理及特性 4.1.1 基本工作原理 平行极板电容器的电容量为： 电容式位移传感器的位移测量范围在1μm—10mm之间，变极距式电容传感器的测量精度约为2%。变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达0.3 μm。 4.1.2 电容式传感器的类型和特性 1. 变极距型电容传感器 d 极板1 极板2 图4-1 变极距型电容传感器 △d △C d d0 0 C C0 图4-2 C-d特性曲线 下极板上移： 设动片未移动时极板间距为d0 初始电容量为： 电容的相对变化量为： 略去高次项，得： 所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满足Δdd0的条件。且一般Δd只能在极小的范围内变化。 相对非线性误差与Δd/d0有关。其表达式为： 传感器的灵敏度为： 差动式变间隙型电容传感器 动极