讨论稿-中国有色金属标准质量信息网.DOCVIP

氯硅烷歧化反应用树脂催化剂中杂质含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法（讨论稿）编制说明 一 工作简况项目背景和立项意义92%～97%的优点，非常适合工业大规模连续生产，具有非常大的发展潜力。 以上所述的工艺过程中都涉及到了氯硅烷歧化反应，而且在实际工业化过程中都需要有催化剂的存在下，才能使反应顺利进行。 由于市场对多晶硅产品品质要求不断的提升，这就对多晶硅生产过程中所用的原辅料质量要求更加严格，而氯硅烷歧化反应催化剂中杂质的含量直接影响多晶硅产品品质。多晶硅歧化反应用催化剂是大孔结构的阳离子交换树脂HG2165-91 大孔弱碱性苯乙烯系阴离子交换树脂》、《DL/T 519-2004火力发电厂 水处理用离子交换树脂验收标准》中无金属杂质的检验方法及指标，在《HG/T 3944-2007 聚氯乙烯树脂 金属离子含量的测定 ICP法》中有关于铅、铬、镉、汞、砷的金属元素测定，而对于影响多晶硅品质的硼、磷、铝、铁、镍、铜、锌没有相关研究，特别是硼磷受温度影响变化较大，其检测不能参考消解反应进行前处理。因此,建立多晶硅用催化剂（树脂）中杂质含量的检验标准，对于优化流化床法和CVD炉法工艺参数，提高硅烷转化效率、提高硅烷尾气的转化再利用效率都有着重要的意义。同时，硅烷气体也可以继续延伸至高纯多晶硅的制备，通过硅烷，可以将多晶硅工厂内部有机地结合，对于提高我国多晶硅工厂的产品品质、减低成