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江苏顺风光电科技有限公司 江苏顺风光电科技有限公司 顺风光电 制绒-影响绒面质量的关键因素 NaOH浓度 异丙醇浓度 制绒槽内硅酸钠的累计量 制绒腐蚀的温度 制绒腐蚀时间的长短 槽体密封程度、异丙醇的挥发程度 添加剂 制绒化学品影响因素分析 NaOH——利用碱溶液对单晶硅不同晶面有不同的腐蚀速率，在表面会出现以 (111)面形成的锥体密布表面（金字塔状），大小一般在2-5um； IPA——气泡的直径、密度和腐蚀反应的速率限定了硅片表面织构的几何特征。气泡的大小以及在硅片表面停留的时间，与溶液的粘度、表面张力有关系。所以需要IPA的挥发特性来调节溶液的粘滞特性； 添加剂——主要用来控制绒面大小的均匀性； 烘干-影响 二线19#槽水温（现为50℃左右）以 及烘干机各区实际温度（90℃以上）、烘干时间偏低时，硅片烘干效果不好，很容易导致扩散后烧焦、黑点。 其他 二线4#酸洗：HF 60L 800s 为返工酸洗槽，需要根据具体返工情况来调整酸洗浓度以及酸洗时间。 二线19#慢提拉 属于预脱水槽，槽中实际水温高低影响脱水效果，进而影响烘干效果。 工艺卫生 在车间，穿好洁净服，戴好口罩，严禁直接用手接触硅片，必须佩戴手套。 插片使用CPE手套（返工可用乳胶手套），甩干使用PE手套；制绒人员佩戴汗布手套、乳胶手套以及一次性手套，杜绝生产过程中产生手指印。 工艺安全 NaOH-较浓的氢氧化钠溶液，溅到皮肤上会腐蚀表皮，造成烧伤，大量接触时应佩带防护； HF-氢氟酸中的氢离子对人体组织有脱水和腐蚀作用，而氟是最活泼的非金属元素之一。皮肤与氢氟酸接触后, 氟离子不断解离而渗透到深层组织, 溶解细胞膜，造成表皮、真皮、皮下组织乃至肌层液化坏死。 氟离子还可干扰烯醇化酶的活性使皮肤细胞摄氧能力受到抑制。估计人摄入 1.5g 氢氟酸可致立即死亡。吸入高浓度的氢氟酸酸雾,引起支气管炎和出血性肺水肿。氢氟酸也可经皮肤吸收而引起严重中毒。 HCl-皮肤直接接触可出现大量粟粒样红色小丘疹,而呈潮红痛热。慢性影响：长期较高浓度接触，可引起慢性支气管炎、胃肠功能障碍及牙齿 酸蚀症。 故换酸时，应穿好防酸服、戴防酸手套以及防毒面具。 江苏顺风光电科技有限公司 清洗工艺培训 技术部 2011-01-23 具体项目 预处理 制绒 酸洗 甩干 烘干 其他 工艺卫生 工艺安全 硅片表面处理的目的： 去除硅片表面的机械损伤层（来自硅棒切割的物理损伤）； 清除表面油污和金属杂质； 形成起伏不平的绒面，增加对太阳光的吸收，增加PN结面积，提高短路电流（Isc），最终提高电池光电转换效率。 预处理 配液：3#液：6L；H2O2：8L 处理时间：150s 温度：55℃ 温度不能过高， H2O2的分解 速率随着反应温度的升高而升高 当原始硅片偏厚（一般195um）时，需要使用粗抛配方，时间、温度都需要进行调整。 目的：去除表面损伤层、油污等，减少白斑、白点的产生 制绒 制绒按工艺不同可分为碱制绒和酸制绒： 利用碱溶液对单晶硅不同晶面有不同的腐蚀速率（各向异性腐蚀），对（100）面腐蚀快，对（111）面腐蚀慢。如果将(100)作为电池的表面，经过腐蚀、在表面会出现以 (111)面形成的锥体密布表面（金字塔状），称为表面织构化。 但是对于多晶硅，由于晶体排列方式杂乱，如果利用碱液，无法进行腐蚀得到良好的金字塔织构化表面，此时只能用酸溶液进行各向同性腐蚀，获得表面存在许多凹坑的表面结构，也能起到良好的陷光作用。 单晶碱制绒反应式为： Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑ 制绒 配液：NaOH：7-9L；IPA：7-9L； AD： 300-400ml 制绒时间：1300±100s 制绒温度：80±1℃ 色差：由于反应速率不一致而引起的绒面大小不一； 发白：表面清洗剂残留阻碍反应，而发白部分绒面极小； 注意区分色差和发白，相应处理是不同的 划痕：切片损伤； 指纹印：主要为操作问题以及所使用的手套问题； 雨点：反应较快，产生的气泡不能及时排出； 当发现已印刷硅片从制绒槽中经过时，应立即将其取出并向生产领导、技术以及巡检反应，以免造成不良后果 酸洗 HF洗 时间：360s 加入量：28L 换酸频率：24小时 HCl洗 时间：360s 加入量：60L 换酸频率：48小时 HF洗 时间：150s 加入量：28L 换酸频率：24小时 HCl洗 时间：150s 加入量：60L 换酸频率：48小时 L1 L2 酸洗 HF去除硅片表面氧化层： HCl去除硅片表面金