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第一部分：安全知识 POCl3泄露紧急预案 一、健康危害 1、健康危害：吸入或食用。对眼睛、呼吸道粘膜有刺激作用，可引起眼和皮肤灼伤。严重病例有窒息感、紫绀、肺水肿、心力衰竭，亦可发生肝肿大、蛋白尿、贫血及中性粒细胞增多。 2、危险特性：遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸。具有较强的腐蚀性。 3、燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化磷、磷烷。 4、环境标准:空气中有害物质的最高容许浓度 0.05mg/m3 第二部分：工作流程及操作 一、工序目的 二、工艺描述 三、操作过程 一、工序目的：在清洗后的p型硅片基体(硼掺杂)表面扩散磷原子，形成结深为0.3－0.5μm的p－n结。 二、工艺描述 1、工艺原理： 本工艺过程是通过三氯氧磷 (POCL3)在高温860℃与氧气（O2）反应产生五氧化二磷（P2O5），反应如下： 7.4工装工具准备 备齐用于工艺生产的石英舟、取舟把手、隔热手套、手套等。 7.5确认设定的扩散工艺程序。 三.工艺操作： 1、手动装片 戴好清洁橡胶手套后双手平端硅片两侧,将合格的硅片依次平稳插入石英舟卡槽内。 注意事项:操作时务必轻拿轻放，以防止硅片产生裂纹和碎裂, 并保证手不要接触硅片的两个表面,防止沾污。 2、手动装舟 平端石英舟将其慢慢平稳地放在距 悬桨上,依次相邻放入剩下的石英舟, 石英舟之间不要留有缝隙。 注意事项:不同规格的硅片不能同