垂直运输用新型线性同步马达的设计与制作.PDF

垂直運輸用新型線性馬達的設計與製作 Design and Manufacture of New Type Linear Synchronous Motor for Vertical Transportation 計畫編號 ：NSC 94-2212-E239-006 執行期限 ：94年08月01日至 95年07月31日 主持人：王良原 國立聯合大學機械工程學系 共同主持人：黃勝銘 國立聯合大學機械工程學系 計畫參與人員 ：林偉勝黃彥賓 國立聯合大學機械工程學系 一、中文摘要關鍵詞( ：垂直運輸系統、線性 制技術的進步 ，使線性馬達愈能顯現其優越 同步馬達 、磁場分析 ) 性。目前 ，線性馬達或線性驅動器 ，已廣泛地 本研究計畫將針對應用在輸送系統之線 被應用於輸送 、搬運 、辦公室自動化及工廠自 性同步馬達分析設計，將應用三維有限元素磁 動化等領域裡 。 路分析軟體來分析線性同步馬達之磁路特 性所要在分析線性同步馬達的結構設計上如， 近年來 ，半導體產業蓬勃的發展 ，根據 何降低其漏磁效應 ，並找出影響馬達特性之主 要參數 ，同時將製作一線性同步馬達之實驗系 SEMI資料統計 ，2000 年全球半導體設備市場 統，量測其相關之特性 ，驗證模擬之準確性 。 為477億美元 ，台灣首度超越日本 ，成為全球 第二位 計約有， 100億美元 雖然面臨全球經。 Abstract (Keywords: vertical transportation 濟不景氣 ，以及國內接二連三的天災影響 ， system, linear synchronous, magnetic field analysis) 2001 年之半導體設備市場雖有萎縮 ，但其前 This project is the design and analysis of linear 景仍是大有可為 。半導體前段設備目前皆仰賴 synchronous motors for transportation systems; 進口，為提升整體半導體產業競爭力及促成半 the basic characteristics of the linear 導體設備自有產業的建立，我國已將半導體設 synchronous motors will be studied via 3D finite 備研發列為科技重點研發項目 。而半導體技術 element magnetic field analysis. The 上的進步及生產力的提升則為提高半導體產， dimensions and parameters of the design will be optimized for reducing the flux leakage based 能的兩大推動力量 。可靠度 、潔淨度輸送率、 、 upon the structural design. An experimental 及精密度往上提高為技術發展趨勢 。而線性馬 motor with attached equipment will be 達在速度與潔淨上均能符合其要求因此線性， constructed and tested for verifications on the 馬達被應用在半導體產業的搬運及定位系統 simulations of the motors. 方面，根據日本富士經濟指出預估日本線性馬 達在半導體產業市場上 ，至二十一世紀將達到 二、緣由與目的 100億日圓的規模 。 線性馬達的起源非常早 ，可追溯到 1845 在 CNC 工具機方面 ，以追求高速、高精 年時 ，Charles Wh