微型阵列透镜表面形状之显微干涉光学检测技术-AOIEA自动光学.PDFVIP

微型陣列透鏡表面形狀之顯微干涉光學檢測技術 楊士緯 林宸生 傅書賢 葉茂勳 鄒慶福 逢甲大學 逢甲大學 逢甲大學 中山科學研究院 逢甲大學 電機工程學系 自動控制工程 自動控制工程 材料與光電 自動控制工程 m9901655@mail.fcu.edu.tw 學系 學系 研究所 學系 摘要 本研究主要在即時檢測微透鏡陣列的表面形狀、曲率半徑和口徑大小，其系統採取自動化光學干 涉儀的架構，透過攝影機連接電腦，並運用影像處理技術檢測球狀微透鏡陣列，將結果做分析。系統 光源使用雷射光，並利用 CCD 搭配顯微鏡組，形成光學顯微干涉儀之自動光學檢測系統，採用菲索 (Fizeau)干涉原理，以雷射光照射微透鏡陣列表面，經由參考平面和微透鏡陣列表面反射的雷射光， 形成兩道光干涉所需要的相位差，因而形成干涉條紋。