一种单稳态微电磁继电器的研究-光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ４ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ４ Ａ ｒ．２００７ 　 　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０４０５４３０７ 　 一种单稳态微电磁继电器的研究 １ １ ２ 刘本东 ，李德胜 ，杨晓波 （ 北京工业大学 机械工程与应用电子技术学院，北京 ； １． １０００２２ ２．北京农业职业技术学院，北京 １０２２０８） 摘要：优化设计出一种微电磁继电器，介绍了其驱动原理，通过对微电磁继电器的电磁驱动力及活动衔铁的位移进行分 析计算，设计了微电磁继电器的三维结构，以增大磁路效率，减小漏磁通，从而增加电磁驱动力。采用 ＭＥＭＳ加工工艺， 试制了该新型微电磁继电器的样件，其尺寸为 ５ｍｍ×５ｍｍ×１ｍｍ，它由上磁路、下磁路、平面励磁线圈、固定触点和活 动衔铁等部分组成。微电磁继电器的平面励磁线圈电阻约 ２０Ω，外加 ５Ｖ电压时，微电磁继电器可实现吸合动作。吸 合后，微电磁继电器的导通电阻为 １４．５Ω，继电器的响应时间为 １ｍｓ。 关 键 词：微电磁继电器；微驱动器； ＭＥＭＳ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＭ５８１．３ Ａ 　　 犚犲狊犲犪狉犮犺狅犳犪犿狅狀狅狊狋犪犫犻犾犾犻狋犿犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犪狀犲狋犻犮狉犲犾犪 狔 犵 狔 １ １ ２ ， ， ＬＩＵＢｅｎｄｏｎ ＬＩＤｅｓｈｅｎ ＹＡＮＧＸｉａｏｂｏ ｇ ｇ （ ， １．犆狅犾犾犲犲狅 犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犪狀犱犃 犾犻犲犱犈犾犲犮狋狉狅狀犻犮狊犜犲犮犺狀狅犾狅 犵 犳 犵 犵 狆狆 犵狔 ， ， ； 犅犲犻犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犜犲犮犺狀狅犾狅 犅犲犻犻狀 １０００２２犆犺犻狀犪 犼 犵 狔 犳 犵狔