超高速超精密加工技术资料.pptx

超高速及超精密加工技术;超高速加工技术;高速加工技术： 采用超硬材料的刀具和磨具，能可靠地实现高速运动的自动化制造设备，极大地提高材料的切除率，并保证加工精度和加工质量的现代制造加工技术。 超高速加工包括超高速切削和超高速磨削。 超高速切削（Super High-speed Cutting）:采用比常规速度高得多的切削速度进行加工的一种高效新工艺方法。;图2 切削速度变化和切削温度的关系;;高精度 切削激振频率远高于机床系统固有频率， 加工平稳、振动小；;高速切削加工应用 （1）航空航天领域。 大型整体结构件、薄壁类零件和叶轮零件等。 ;铝合金整体零件： 整体零件“掏空”， 切除量大 零件有薄壁，要求小 切削力 小直径刀具 较长的刀具悬伸 ;（2）汽车制造。;;b）高速模具加工的过程 两种模具加工过程比较; （4）难加工材料领域。硬金属材料（HRC55～62），可代替磨削，精度可达IT5~IT6级，粗糙度可达0.2～1um。;高速切削加工的关键技术;; 2.快速进给系统; 3.超高速加工用刀具、磨具;金刚石刀具;1957年美国通用电器(GE) 公司采用与金刚石制造方法相似的方法，合成于第二种超硬材料——立方氮化棚(CBN)。CBN有单晶体和多晶体之分，即CBN 单晶和聚晶立方氮化棚( 简称PCBN)。CBN与金刚石的硬度相近，又具有高于金刚石的热稳定性和对铁族元素的高化学稳定性。; 精密与超精密加工的定义 精密与超精密加工的地位 金刚石刀具镜面切削 精密与超精密磨削; 精密加工与超精密加工的发展（Taniguchi，1983）;;;;精密与超精密磨削 磨削是保证产品的精度和质量的最后一道工序。 超精密磨削和磨料加工是利用细粒度的磨粒和微粉对硬脆材料进行加工的方法。 ;进给;;; 几种常见砂带磨削方式;; 4.超精密研磨与抛光 研磨和抛光都是利用研磨剂使工件与研具之间通过相对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。 1、研磨加工的机制和特点 研磨加工，通常是使用在1μm到十几μm大小的氧化铝和碳化硅等磨粒和铸铁等硬质材料的研具之间并借助机床提供的复杂运动，实现零件表面加工轨迹高度不重合。 研磨时磨粒的工作状态有以下三种： 1）磨粒在工件与研具之间进行转动。 2）由研具支承磨粒研磨加工面。 3）由工件支承磨粒研磨加工面。 ; 2、抛光加工的机制和特点 抛光也和研磨一样，是将研磨剂擦抹在抛光器上对工件进行抛光加工。但是，抛光使用是磨粒是1μm以下的微细磨粒，而抛光器则需使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、等软质材料制成，即使抛光硬脆材料也能加工出一点裂纹也没有的镜面。 ;3、超精密研磨和抛光的主要新技术 （1）超精密研磨 研磨普通的硬脆材料时，由于有微细的破碎，生成的切屑参于研磨。但是，如果研磨金属材料时，则没有破碎，而由磨粒取代进行研磨。由于塑性变形生成切屑，利用微细的磨粒研磨经热处理研化的金属材料和经烧结的超硬材料时，加工单位变小，可用于抛光那样表面零件的加工。由于研具是硬质材料，对工件来说，塌边越小，加工精度越高。 （2）超精密抛光 （3）液中研磨 液中研磨法是将经过超精密抛光或研磨的零件浸入在含磨粒的研磨剂中进行，在充足的加工液中，借助水波效果，利;用浮游的细小磨粒进行加工，并对磨粒作用部分所产生的热有极好的冷却效果，对研磨时产生的微小冲击也有缓冲效果。利用微细的磨刃、磨粒和聚氨酯研具研磨硅片时，可以得到无损伤高质量的镜面。 　（４）机械－化学研磨 　机械－化学研磨加工机制是利用化学反应进行机械研磨，有湿式和干式两种研磨方法。 　（５）化学－机械抛光 　化学－机械抛光是一种利用研磨液的腐蚀作用和磨粒的机械作用双重作用的研磨方法。 　不使用磨粒而只利用具有腐蚀效果的加工液进行摩擦抛光的研磨，更适合化合物半导体晶片的加工。 　; 活性抛光液和磨粒与工件表面产生固相反应，形成软粒子，使其便于加工。 机理：机械+化学作用，称为“增压活化”。;机 械 美 学;谢 谢