高频电容耦合等离子体净化甲醛废气的实验研究.docVIP

高频电容耦合等离子体净化甲醛废气的实验研究 ? 44?工业安全与环保 IndustrialSafetyandEnvironmentalProtection 2011年第37卷第1期 January2011 高频电容耦合等离子体净化甲醛废气的实验研究 王军黄海涛李歆 (广东工业大学环境工程学院广州510006) 摘要设计了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验装置,开展了高频电容耦合等离子体甲醛气体处理实验研 究.实验表明,甲醛去除率随着输入功率的增加而增加,随着甲醛初始浓度,电极间距,反应管管径,系统压力和气体流量等 减小,甲醛的去除率也相应减小,高频电容耦合等离子体处理甲醛气体,可使甲醛去除率在最佳条件下达97%. 关键词等离子体甲醛电容耦合放电 TreatmentofFormaldehydebyUsingHigh—frequencyCapadfivelyCoupledPlasma WANGJunHUANGHaitaoLIⅪn (SchoolofEnvironme;~lEngineeff~g,GuangdongUniversofTedmologyGuangzhou510006) AbstractTheexperimmtalmuiom~tandsche|Tleaboutthedes,~lationdfonmldehydebyahigh一.qu∞cycapacitivelycarpledplasma(CCP) equipmentisd~igrted.qheexperirct~tshowsthatsOthefactorsinfluenceformaldehyderemovalefficiency.Formaldehydermaovalefticiencyincreases withtheincreaseofinputpoweranddecreasesw.ththedecreaseinletc呷∞l仃0n,gasflux,gasⅫ℃,reactordiameterandelectrodedis— lance.TheefficiencyCanreach97.O%underoptimalconditionswhenformaldehydeisdecomposedinhigh—frequencycapacitivelycoupled plasma(CCP)equipment. KeyWordsplasmaformaldehydecapacitivelycoupleddischarge 0引言 形成于20世纪6o年代的等离子体化学是涉及高能物 理,放电物理,放电化学,反应工程学,高压脉冲技术等领域的 -- f-j交叉学科.进入8o年代后,等离子体用于处理各类污染 物成为国内研究的热门之一.与其他污染治理技术相比,等 离子体具有处理流程短,效率高,能耗低,适用范围广等优点. 最近,许多研究报道非平衡等离子体对于挥发性有机化合物 的去除非常有效.例如,苯【,甲苯[】和甲醛【】等的去除率几 乎达到1130%.非平衡等离子体主要是由气体放电产生的. 等离子体去除v0CS的方法有电子束法【4J,介质阻挡放 电[5-6],表面放电[,电晕放电C2,8】,高频放电【]等.这些技术 的共同特征在于,通过一定的方式在烟气中产生等离子体,污 染性气体在等离子体区被分解或氧化,浓度可降低到排放标 准以下. 1实验装置与试剂 高频电容耦合等离子体反应器(自行设计加工),JG一 1KW—C型晶控高频等离子体电源(长春市星达电子仪器 厂),4160—19.99m型甲醛分析仪(美国INrI皿sc^N公司),WJ 一 60B型烟气综合分析仪(青岛崂山电子仪器总厂有限公 司);甲醛标准气体,甲醛气瓶中气体的组成:体积分数为51× l0-6的甲醛,剩余气体为N2. 2实验反应器系统 高频电容耦合等离子体处理甲醛的实验系统主要分为 配气系统,电源控制系统,等离子体反应系统,压力控制和温 度测量系统,分析检测系统5部分,如图1所示.钢瓶中甲 醛气体和干燥空气分别通过减压阀门后经气体流量计进入 混合器充分混合,混合后的气体进入反应器进行反应.反应 后的气体分别由甲醛分析仪和烟气分析仪检测甲醛和CO, NO,N02的含量.实验时由ZDZ一52T型电阻真空计和4ZB 一 4SF型爪式真空泵调节并控制系统压力. 1一干燥空气;2一甲醛气体;3一流量计;4一混合器;5一反应管; 6一匹配网络;7一高频电源;8一热电偶温度计;9一电阻真空计; 10一真空泵;11一甲醛分析仪;12一烟气分析仪;13一气体出口 图1等离子体反应器系统示意 本实验所用电容耦合反应器是根据电源基本情况自行 设计加工的外极式反应器,其结构是将环状电极以适当间隔 配置在放电管上,加在电极上的高频电场能透过石英管壁使 管内