第八讲 薄膜表征技术.ppt

§ 7.1 X光衍射与谢乐尔公式 1 X光的产生 1895年11月8日，德国物理学家伦琴在研究真空管高压放电现象时偶然发现的。 1901诺贝尔物理奖。 灯丝中发出的电子达到一定的能量，电子受高压电场的作用以高速轰击靶面，会把靶面材料中的K层电子空出，处于激发态，其它层的电子跃入，能量降低，发出X光。 入射电子能量损失：热能，连续X射线，特征X射线。 ? mv2=eV=E=hv=hc/λ 劳厄----晶体作为衍射光栅，证明晶体周期性。 布拉格父子----晶体衍射条件 1914 1915 诺贝尔物理奖 荧光X射线谱: 用作成分分析。 衍射谱：不同晶体由于组成的原子不同，或者原子排列方式不同（如石墨，金刚石），导致X光衍射谱图不同，可用来测样品的晶体结构。 2.晶体对X光的衍射 光程差QA’Q’ - PAP’= SA’ + A’T = nλ，n为干涉级数，即n = 0、?1…… SA’ = A’T = dsinθ,代入上式得：2dsinθ = nλ 当2dsinθ=nλ时,两条散射光干涉加强,发生衍射。 晶体中有许多晶面列，存在许多不同的晶面间距，对于某一晶列的面间距d已确定，当X光入射光波长确定时，总有一衍射角θ与之对应，使2dsinθ=nλ，产生衍射线。如图 注意：衍射线的强度在实验中通过底片上衍射线(点)的黑度或衍射图中衍射峰的面积或高度来度量。 除干涉加强外，晶体中的原子位置和种类不同时，干涉后的强度也要减弱，有时甚至为0。 因原子位置和种类不同而引起的某些方向上衍射线消失的现象叫系统消光。 也就是说，在根据布拉格方程应该产生衍射线的方向上，由于原子的位置种类的不同而导致衍射线消失了。 3 谢乐尔(Scherrer)公式： 电镜观察的是颗粒度而不是晶粒度。 X射线衍射峰宽化法是测定晶粒度的最好方法。 由于位错、微观应力及表面张力，使得晶粒的同指数晶面间距围绕平衡状态时的晶面间距d0值有一分布。 由2dsinθ=nλ可知，d减小，θ增大；反之亦然。 完整晶体的衍射峰宽度接近零； 纳米粒子某些面间距d的略大略小变化，引起d值分布有一定宽度，晶粒越细，衍射峰越宽。 另外，结晶度低也会引起衍射峰的宽化。 利用某一衍射峰的宽化，可计算纳米粒子的尺寸，即谢乐尔(Sherrer)公式： Dhkl= kλ/(cosθ??Bhkl) k为常数； θ为入射角（弧度）； ?Bhkl为某衍射峰半高宽处的弧度（单纯因晶粒度细化引起的宽化度）； Dhkl为此粒子对应hkl晶面的某方向尺寸。 注意事项： A：需消除仪器的影响，用大晶粒结晶好的晶体作标样。 B：单色性，波长频率尽量单一化。 C：选取多条低角度衍射线(2θ≤50°) ，求平均值。 D：测得的是各微晶的平均尺寸。 E：精确度：适用于(3-200 nm)的粒子，小于或等于50 nm，测量值与实际值接近，大于50 nm时，测量值小于实际值。 TiO2纳米材料晶粒大小测定 (1)对于TiO2纳米粉体，衍射峰2θ为25. 1°时为(101)晶面。 (2)当采用CuKα，波长为0.154nm，衍射角的2θ为25.30°，半高宽为0.375°，一般Sherrer常数取0.89。 (3)根据Scherrer公式，可以计算获得晶粒的尺寸。 (4) D101＝21.5 nm 介孔结构测定—小角X射线衍射 介孔材料中的孔周期性排列，孔间距类似于晶面间距，可以产生X射线衍射。 §7.1.1透射电子显微镜 (TEM）transmission electron miroscope 一 光学显微镜： 人的眼睛的分辨本领0.1毫米。 光学显微镜，可以看到象细菌、细胞那样小的物体，极限分辨本领是0.2微米。 显微镜的分辨本领公式（阿贝公式）为：d=0.61?/(N?sin?)，N?sin?是透镜的孔径数。其最大值为1.3。光镜采用的可见光的波长为400~760nm。 观察更微小的物体必须利用波长更短的波作为光源。 二 电子显微镜的电子光学基础 1. 历史 1924年德布洛依提出了微观粒子具有波粒二象性的假设。1929诺贝尔物理 例如100 kV电压下加速的电子，德布洛依波的波长为0.037埃，比可见光的波长小几十万倍。 1922年，物理学家布施利用电子在磁场中的运动与光线在介质中的传播相似的性质，可以实现电子波聚焦，研究成功了电子透镜，为电镜的发明奠定了基础。 电子与物质相互作用 当高能入射电子束轰击样品表面时，入射电子束与样品间存在相互作用，有99%以上的入射电子能量转变成样品热能，而余下的约1％的入射电子能量，将从样品中激发出各种有用的信息，主要有： 1)二次电子—从距样品表面l00 ?左右深度范围内激发出来的低能电子。50