光学表面中频误差的控制方法确定区域修正法.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １１ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１１ 　 　 　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １１ Ｎｏｖ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７１１１６６８０６ 　 光学表面中频误差的控制方法—确定区域修正法 周旭升，李圣怡，戴一帆，郑子文，杨智 （国防科学技术大学 机电工程与自动化学院，湖南 长沙 ４１００７３） 摘要：提出了一种有效控制光学表面中频误差的方法———确定区域修正法。给出了确定区域修正法的基本思想和工作 流程，并基于最大熵原理对抛光盘运动参数进行了优化选择（行星运动方式转速比为 或 ，偏心率为接近于 但不等 －１ ０ ０ 于 ）。最后，在 玻璃平面镜上进行了抛光对比实验。实验结果表明，应用确定区域修正法，在 内 ０ Φ１００ｍｍＫ９ １．５ｍｉｎ 可使 －１频率误差对应的 值从 ２ · 下降到 ２ · ，有效地控制了光学表面的中频误 ０．２８ｍｍ ＰＳＤ １４．７６ｎｍ ｍｍ ３．７０ｎｍ ｍｍ 差。与其他方法相比，确定区域修正法的突出优点在于其确定性和高效性。 关 键 词：光学表面；中频误差；确定区域；最大熵原理 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ７０３ＴＱ１７１．６８４ Ａ 　　 ： 犆狅狉狉犲犮狋犻狀 犲狉狉狅狉狊犻狀犱犲犳犻狀犻狋犲犪狉犲犪 犪狀犲狑犿犲狋犺狅犱犳狅狉犮狅狀狋狉狅犾犾犻狀 犵 犵 犿犻犱狊犪狋犻犪犾犳狉犲狌犲狀犮犲狉狉狅狉狊犻狀狅狋犻犮犪犾狊狌狉犳犪犮犲 狆 狇 狔 狆 ， ， ， ， ＺＨＯＵＸｕｓｈｅｎ ＬＩＳｈｅｎｉＤＡＩＹｉｆａｎ ＺＨＥＮＧＺｉｗｅｎ ＹＡＮＧＺｈｉ ｇ ｇｙ （ ， 犆狅犾犾犲犲狅 犕犲犮犺犪狋狉狅狀犻犮犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犪狀犱犃狌狋狅犿犪狋犻狅狀犖犪狋犻狅狀犪犾犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犵 犳 犵 犵 狔