光学薄膜技术课授课计划(2011-2012第二学期).docVIP

河南工业职业技术学院 学　期　授　课　计　划 　　　 　 2012-2013 学年　　 二 　　学期 　　　　课程名称　 光学薄膜技术 　 　　　　任课教师 贺军峰、华显立 　　　　授课班级　 光电1101、1102、精密1101、1102 教研室通过日期　　　　 　　　教研室主任　　 　　 系（部）通过日期　　　 　　　系（部）主任　　 　 学院审批意见　　　　 　　　 审 批 人　　 　 　　 说　　明 一、人才培养方案规定时数： 一、人才培养方案规定时数： 规定本课程总时数 52 学时 本学期实际授课时数 52 　学时 二、本学期课时分配： 理论教学　　42 学时 实践教学　　8 　 学时 理实结合教学　　0 　学时 机 动　　2 　 学时 本授课计划依据高职 三 年制 精密机械技术 专业人才培养方案，结合《 光学薄膜技术 大纲》制定。 课程核心内容: 项目一、光学薄膜技术特性计算基础； 项目二、常见膜系介绍； 项目三、真空技术； 项目四、光学薄膜制造工艺； 项目五、光学薄膜材料及其性质。 　　　　　　 应达到的实践操作水平或应取得的证书： 掌握光学薄膜技术特性计算基础、常见膜系、真空技术、光学薄膜工艺，光学薄膜材料及其性质 考核办法：闭卷考试（平时成绩+考试成绩） 选用教材名称 光学薄膜技术（第二版） 出版社 电子工业出版社 出版日期 2011年7月 学　期　授　课　计　划 序次 标题 课程内容 教学方法 授课 时数 课　外 作　业 1 项目一：薄膜特性计算基础 任务一：薄膜技术发展历史 介绍光学薄膜器件的应用、常见光学薄膜的类型 多媒体讲授法 2 查阅薄膜光学的应用 2 项目一：薄膜特性计算基础 任务二：单一界面的反、透射率计算 光波与光学导纳、菲涅尔公式在光学薄膜器件中的应用、等效界面思想 多媒体讲授法 2 光学导纳的推导 3 项目一：薄膜特性计算基础 任务三：多层介质膜的反、透过率 单层介质膜的光学特性、等效光学导纳 讲练结合法 2 等效界面思想与等效学导纳的区别于联系 4 项目一：薄膜特性计算基础 任务四：光学零件的反射率和透过率 金属薄膜的光学特性、光学零件的实测反射率与膜层的折射率关系 多媒体讲授法 2 5 项目二：常见膜系介绍 任务一：减反射膜、高反射膜 单层减反膜透过率的确定、双层减反膜透过率的确定、多层减反膜透过率的确定；周期性多层膜堆、高反射带的展宽。 多媒体讲授法 2 6 项目二：常见膜系介绍 任务二：截止滤光片、带通滤光片 截止滤光片的原理、通带的压缩、截止滤光片的应用；带通滤光片的特性与应用 实验法 2 反热镜、冷光镜的应用举例 7 项目二：常见膜系介绍 任务三：偏振分束膜系 不同介质对偏振分束膜的影响、消偏振膜系 多媒体讲授法 2 8 项目三：真空技术 任务一：光学真空镀膜机 真空系统、热蒸发系统、膜层厚度控制系统 多媒体讲授法 2 熟悉镀膜机的构造 序次 标题 课程内容 教学方法 授课 时数 课　外 作　业 9 项目三：真空技术 任务二：真空与物理汽相沉淀 PVD与真空的关系、真空与压强的关系、光学镀膜所需的压强、真空的获得与检测、 多媒体讲授法 2 分析真空与压强的关系 10 项目三：真空技术 任务三：真空技术 真空的基本知识、实用真空系统 多媒体讲授法 2 11 项目三：真空技术 任务四：光学薄膜的真空蒸发技术 物理汽相沉淀、化学汽相沉淀 分组学习法 2 比较两种方法的工作原理，寻找优缺点 12 项目四：光学薄膜制造工艺 任务一：热蒸发、溅射 热蒸发的蒸发源、电子束加热；辉光放电溅射、磁控溅射、溅射率与靶材的关系 多媒体讲授法 2 13 项目四：光学薄膜制造工艺 任务二：离子镀、离子辅助镀 离子镀的原理以其特点、常用离子镀的类型；离子辅助的作用 多媒体讲授法 2 比较离子镀与辅助离子镀的优缺点？ 14 项目四：光学薄膜制造工艺 任务三：光学薄膜器件的质量要素 薄膜器件光学性能、薄膜器件的机械性能、薄膜器件的环境稳定性、膜层填充密度对膜层质量的影响 多媒体讲授法 2 15 项目四：光学薄膜制造工艺 任务四：膜层厚度的测量 膜层厚度的测量 实验法 2 实验报告一 16 项目四：光学薄膜制造工艺 任务五：影响膜层质量的工艺要素 镀膜的基本工艺路径、影响薄膜器件质量的工艺要素及其作用机理、提高膜层机械强度的工艺途径、控制膜层折射率的