玻璃基集成光功分器工程化研究浙江大学.pdfVIP

玻璃基集成光功分器 工程化研究 浙江大学信息与电子工程学系 2009年11月 主要内容 • 集成光功分器件 • 离子交换玻璃光波导技术简介 • 我们的研究工作简介 • 结束语 光纤接入方式FTTx FTTH—光纤敷设到每个家庭 FTTR—光纤敷设到远端节点 FTTB—光纤敷设到办公大楼 FTTC—光纤敷设到路边 FTTZ—光纤敷设到用户小区 FTTO—光纤到办公室(Office) FTTN—光纤到邻区 (Neighbor) FTTF—光纤到楼层 (Floor) …… FTTx市场发展 无源光网络基本结构 光功分器是必不可少的器件 光分路器类型 • 光纤融熔拉椎型 • 集成光学型 集成光电子器件：材料与工艺 • 半导体材料: Si, GaAs, InP (外延生长+刻蚀) • SiO2 (PECVD，FHD，Sol-Gel) • LiNbO3 (离子扩散，质子交换) • 聚合物 (浸涂，旋涂等) • 玻璃 (离子交换) • …… 离子交换是一种在玻璃基片上制作光波导 的方法。 SiO 光波导（PECVD技术）2 玻璃基离子交换光波导的特点 • 光学特性与光纤匹配； • 低插入损耗； • 易于掺杂高浓度稀土离子； • 易于集成； • 环境稳定性好； • 设备简单，投入少； • 原材料便宜，易得，低成本； • 适合于规模化生产； • …… 玻璃基离子交换光波导形成的机制 • 氧化物玻璃中存在大量的高温下高迁移率的一价离子 + + （Na ，K 等）； • 在高温下，玻璃中的高迁移率一价离子与外界的一价离 子（熔盐中的一价离子，或者金属膜电解形成的一价离 子）发生离子交换，玻璃中局部区域的一价离子被取 代； + − + − + − + − A NO B glass A glass B NO 3 + → + 3 • 玻璃的光学性质（折射率等）依赖于玻璃的组成。玻璃 成分的局部改变会引起折射率的局部改变，从而在玻璃 材料内部形成高折射率区。 χ R V0Δ =Δ Δ −N ( R ) V V 0 0 离子交换工艺 • 熔盐离子交换 掺杂离子来源于熔盐：CsNO ，AgNO ， 3 3 TlNO3，等。 • 金属膜离子交换 掺杂离子来源于金属膜电解：Ag，Co， Cu，等。 玻璃基离子交换光波导类型 • 表面光波导 制作工艺简单； 光导波与玻璃表面作用强，传输损耗较大； 与单模光纤耦合损耗较