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* * * * * * * * * * * * * * * * * §1-1 电子波与电磁透镜 1、光学显微镜成像 光学成像:先衍射、后干涉。 衍射:波绕过物体传送的现象。 干涉:两列振动周期相同的波互相叠加的现象。 Airy斑:物体上的点通过透镜成像时,在像平面上得到的是一个中心最亮、周围带有明暗相间同心圆环的圆斑,即所谓Airy斑,如图。 84%的强度集中于中央亮斑,第一暗环半径: 当两个光斑强度峰间的强度谷值比强度峰值低19%时(把强度峰的高度看作100%),这个强度反差对人眼来说是刚有所感觉。 此时两像间距恰为R0, △r0 = R0/M * 图(c)两个Airy斑 明显可分辨出。 图(d)两个Airy斑 刚好可分辨出。 图(e)两个Airy斑 分辨不出。 I 0.81I 分辨本领是指成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离。 由衍射效应所限定的分辨本领在理论上可由Rayleigh公式计算,即△r0=0.61λ/Nsinα 式中△r0 —成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最小距离,用它来表示分辨本领的大小。 λ—波长; N—介质的相对折射系数; α—透镜的孔径半角。 光学显微镜的分辨本领: 2、可见光与电子波的波长 可见光:3900-7600 A,不带电。 电子波的波长取决于电子运动的速度和质量,即 如果电子速度较低,则它的质量和静止质量相近,即m≈mo。如果加速电压很高,使电子具有极高的速度,则必须经过相对论校正,此时 表不同加速电压下电子波的波长。 3、电磁透镜 使电子波聚焦成像的装置。 图为电磁透镜的聚焦原理示意图。通电的短线圈就是一个简单的电磁透镜,它能造成一种轴对称不均匀分布的磁场。一束平行于主轴的入射电子束通过电磁透镜时将被聚焦在轴线上一点,即焦点。这与光学玻璃凸透镜对平行于轴线入射的平行光的聚焦作用十分相似。 图为一种带有铁壳的电磁透镜示意图。导线外围的磁力线都在铁壳中通过,由于在软磁壳的内侧开一道环状的狭缝,从而可以减小磁场的广延度,使大量磁力线集中在缝隙附近的狭小区域之内,增强了磁场的强度。 为了进一步缩小磁场轴向宽度,还可以在环状间隙两边,接出一对顶端成圆锥状的极靴,如图所示。带有极靴的电磁透镜可使有效磁场集中到沿透镜轴向几毫米的范围之内。图 (c)给出裸线圈,加铁壳和极靴后透镜磁感应强度分布。 与光学玻璃透镜相似,电磁透镜物距、像距和 焦距三者之间关系式及放大倍数为 电磁透镜的焦距可由下式近似计算 Ur——经相对论校正的电子加速电压; (IN)——电磁透镜激磁安匝数。 从式可看出,无论激磁方向如何,电磁透镜的焦距总是正的。改变激磁电流,电磁透镜的焦距和放大倍数将发生相应变化。 §1-2 电磁透镜的像差与分辨本领 1、像差 :几何像差和色差 (1)、几何像差是因为透镜磁场几何形状上的缺陷而造成的。几何像差主要指球差和像散。 (2)、色差是由于电子波的波长或能量发生一定幅度的改变而造成的。 A、球差 由于电磁透镜的中心区域和边缘区域对电子的折射能力不同造成。 当物点P通过透镜成像时,电子就不会会聚到同一焦点上,从而形成了一个散焦斑,如图。最小散焦斑的半径用Rs表示。若把Rs折算到物平面上去,其大小△rs=Rs/M。 △rs为由于球差造成的散焦斑半径,就是说,物平面上两点距离小于2△rs时,则该透镜不能分辨,即在透镜的像平面上得到的是一个点。 M为透镜的放大倍数。 △rs可通过下式计算: B、像散 像散是由透镜磁场的非旋转对称而引起的。 极靴内孔不圆、上下极靴的轴线错位、制作极靴的材料材质不均匀以及极靴孔周围局部污染等原因,都会使电磁透镜的磁场产生椭圆度。非旋转性对称,会使它在不同方向上的聚焦能力出现差别,结果使成像物点p通过透镜后不能在像平面上聚焦成一点,如图。 在聚焦最好的情况下,能得到一个最小的散焦斑,把最小散焦斑的半径RA折算到物点P的位置上去,就形成了一个半径为△rA的圆斑,即△rA = RA /
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