CVD化学与薄膜工艺教程.pptVIP

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(2)气态组分向生长表面的转移 通常受阻时间 是不知道的,但是如果穿透理论是正确的,紊流的质量转移系数应该正比于扩散系数的平方根。大多数情况下,质量转移关系式可用下式表达: (2.30) 式中Sh是无量纲数,称做sherwood数;Sc为无量纲的Schmid数。如用等价的关系式表示 (2.31) 从而 (2.32) 式中d为管状反应器的直径,其它各量如前所述。实验表明,hCi 正比于扩散系数的平方根,因此,c = ? [与层流附面层理论不同,见式(2.26)]。一般说,对于层流,质量转移系数正比于 D2/3 , 对于紊流,则正比于D1/2;而在过渡情况下,其指数在两者之间。如果要求更严格的结果,式(2.31)、(2.32)中系数a、b、c可用实验测定。 (2)气态组分向生长表面的转移 原则上,从式(2.26)、(2.27)、(2.28)求得质量转移系数或,并按气-固界面上的热化学平衡求得相应的或,就可以由式(2.18)、(2.19)求出输运流量。考虑如下热解反应 ABn + C = A + nB + C (2.33) 式中C为载气,不参加反应;A为固体淀积物。在气-固界面上可写出如下的方程式: 式中PABn、PB为固体表面附近平衡分压。设源气流中PABn分压为POABn且不合B组分(即PB=0),则按式(2.19)通过界面层的粒子流密度分别为 (2.35) (2.36) 在稳态生长时,按物料守恒有 (2.37) 则得 (2.38) 也就是A的生长速度RA为 (粒子数/厘米2·秒) (2)气态组分向生长表面的转移 有时必须考虑对流作用 假定在垂直于生长面的方向上,除了扩散之外,还有以层流形式的对流存在,于是某气体分子向表面转移速率人可表示为 (2.40) 式中V为朝向生长面的层流速度(体积/单位时间)。dCi/dx为界面层中的浓度梯度。 在更为详细的模型中,一般是通过解气体反应剂的连续性方程来讨论质量输运问题

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