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AWG介绍二：设计和优化一、AWG的设计步骤 ????AWG参数中有多个自由度，因此其设计步骤也有多种，一个典型的设计步骤如下： 1)由设计要求确定信道数N和信道间隔Δf； 2)确定波导宽度W和折射率差Δ：要求波导满足单模条件，并考虑波导的最小弯曲半径（这对器件布版非常重要）随W和Δ单调递减，SiO2波导一般取W=6um，Δ=0.75%； 3)确定输出波导间距dr：AWG的串扰随dr的减小而增加，如图8，根据对串扰的要求确定dr； ????????????? ??????????????????????????图8.?串扰与输出波导间距的关系 4)确定罗兰圆直径Ra：AWG的损耗均匀性≈8.7(θmax/θ0)2，而Ra=Smax/θmax，由边缘通道的位置Smax和衍射角θmax决定； 5)确定阵列波导间距da：da越小则器件的损耗越小，在阵列波导与星形耦合器相接处，应使波导间隙尽量小，接近光刻极限； 6)确定阵列波导中相邻波导长度差ΔL：阵列波导的色散DΔLRa/da且D=dr/Δf，由此决定ΔL； 7)确定阵列波导数Na：边缘阵列波导相对于输入波导的张角2θa影响损耗和串扰，如图9所示，根据损耗和串扰要求选定θa，再计算阵列波导数Na=2θaRa/da+1。 ????????????? ?????????????????????????图9.?阵列波导张角与损耗和串扰的关系 8)选择AWG的布版方式：布版需要考虑输入/输出端口的设置和尽量缩小器件的布版面积，常用的布版方式有两种，如图10所示。 ?????????????????????????图10.?AWG常用的布版方式 二、减小AWG损耗的途径 ????在AWG的输入星形耦合器中，如图3（a）和图11中虚线所示，输入波导发出的光场呈高斯分布，分配到各条阵列波导中。如果在阵列波导的输出端能够得到同样的光场分布，就能够无损耗的耦合到目标输出波导中。实际上，由于端口位置波导间隙的影响，在阵列波导输出端得到的光场如图11中实线所示，光场被撕裂，因此产生耦合损耗。如果采用强限制波导（折射率差较大）或者波导间隙较大，光场被完全撕裂，损耗较大；如果采用弱限制波导或者波导间隙较小，光场未完全撕裂，损耗较小。 ???????????? ???????????????????????图11.?阵列波导输入/输出端的光场分布 针对产生损耗的机制，减小AWG损耗的途径如下： 1) 在阵列波导接口位置，采用锥形设计逐步减小波导间隙，直至光刻极限； 2) 进行二次光刻，对阵列波导接口位置采用折射率差较小的材料组合。 三、AWG的消偏振设计 ????因阵列波导的双折射效应，TE模和TM模的衍射聚焦位置不同，产生PDL，甚至两个模式聚焦到不同波导中，如图12所示。 ????????????? ???????????????????????????图12.?AWG中的PDL问题 针对PDL的产生机制，消除的方法如下： 1)采用零偏振波导：通过适当的参数设计和工艺优化，可以得到双折射系数极低的零偏振波导，如图13所示。 ????????????? ???????????????????????????图13.?掩埋矩形和脊形零偏振波导结构 2)衍射级次匹配：让AWG的FSR等于偏振引起的频移Δfpol，则TE模的m级衍射波长与TM模的m-1级衍射波长重合，二者衍射角相同，如图14所示。 ????????????????????? ????????????????????????图14.?通过衍射级次匹配实现消偏振 3)色散匹配设计：在每条波导中插入一段双折射系数不同的波导，其长度以δL递增，如图15所示。 ????????????????????????????????????? ?????????? ????????????????????????图15.?通过色散匹配实现消偏振 4)偏振分离输入：将TE模和TM模分离之后再输入AWG，如图16所示。 ??????????? ????????????????????????图16.?通过偏振分离输入实现消偏振 5)半波片法：在每条波导的中间插入一片半波片，使波导的前后两段发生TE模和TM模的转换。 四、AWG的通带平坦化设计 ????阵列波导输出的光场，在输出波导的端口进行衍射重构，这个重构光场与输出波导的能量耦合所表现出来的波长特性，即为AWG的传输谱线。 通带未优化的AWG，表现为高斯型谱线，如图17所示，难以实用，因此必须进行通带平坦化设计。 ???????????????? ????????????????????????图17.