六单元激光其它测量技术教程.pptVIP

三、扫描镜电流计测径 四、位相调制扫描测量技术 影响激光扫描测量精度的主要因素： 工件边缘的衍射现象 衍射使被测工件的边界模糊，用时间脉冲计数 时，必然引人误差，使前述的光点扫描测量精度 限制在士0.01 mm。 位相调制扫描测量技术采用空间调制光束来扫描工 件，通过测量位相，而不是测时间来获得被测件的 尺寸，测量精度可达士1 um，适合于各种高温、高 压下做非接触高精度现场测量。 I1 = I 3 ; I 2 = I1 + I 3 设PBS分开的两束光的光强相等，则扫描光①、②、③之间的光 强I1,I2.I3，有如下关系: 若Pockels调制器的振荡频率为ω，由图6-18可知，光束①+③是 (I1+I3) (1 + sin ω t)。而光束②的方程是I2(1-sin ω t)。对任意时 刻，调制扫描光束的表达式为 1当光束③与工件相遇时为a区，扫 描光束扫过工件后为a‘区 2当工件边缘开始挡住光束③或① 时，这时为b区和b区 3当工件边缘开始挡住光束②到全 部挡住光束②时 2和3 的信号正好相差pi §6.3 激光测距技术 常用的测距技术: 雷达/无线电测距时间 回波 超声测距 激光测距 无导轨测距: 短程: 合成波长 回波 相位 半导体激光调频测距 远距离(几千米)测量的技术: 激光相位测距 脉冲激光测距 一、激光相位测距 (一)激光相位测距原理 相位测距是通过对光的强度进行调制来实现的 光从A点传播到B点的相移可表示为 ? = 2mπ + Δ? = 2π (m + Δm) 光从A点传播到B点所用时间为t， 则A、B两点之间的距离 L = ct = c ? 2πf = λ (m + Δm) 若测量出某一时刻的相位，则测出 波通过的距离 为方便测量出相位变化，一般采用反射式 则 L = λ 2 2L = λ (m + Δm) (m + Δm) = Ls (m + Δm) 实际上： 1. cos为2π周期的函数， 不能直接测出m的变化量 2. 一般的检相电路,只能检 出0-2π之间的相位变化 相位测量技术只能测量出不足2 π的相位尾数△φ ， 即只能确定余数△m=△φ/2 π，而不能确定相位的整 周期数m。因此，当被测距离L大于Ls时，用一把光 尺是无法测定距离的。当距离小于Ls时，即m=0时， 可确定距离 所以: 一般采用调制技术, 变相增大测量范围,即增 大波长 为能实现长距高精度测量，可同时使用L。不同的 几把光尺。最短的尺用于保证必要的测距精度，最长 的尺用于保证测距仪的量程。目前，采用的测距技术 主要有直接测尺频率和间接测尺频率两种。 λ 2 （二）激光相位测距技术 （1）直接测尺频率 由测尺量度Ls。可得光尺的调制频率 f s = c / 2Ls L = (m + Δm) = Ls (m + Δm) 这种方法所选定的测尺频率fs直接和测尺长度Ls相对 应，即测尺长度直接由测尺频率决定，所以这种方 式称为直接测尺频率方式。 直接测尺频率一般应用于短程测距 （2）间接测尺频率(合成波长) L = Ls1 = (m1 + Δm1 ) L = Ls 2 = (m2 + Δm2 ) L = Ls1 ? Ls2 Ls1 ? Ls2 [(m1 ? m2 ) + (Δm1 ? Δm2 ))] = Ls (m+ Δm) = = L = 式中： Ls1 ? Ls 2 1 c 1 c Ls1 ? Ls 2 2 f s1 ? f s 2 2 f s , f s = f s1 ? f s 2 ; m = m1 ? m2 ; Δm = Δm1 ? Δm2 = Δ? / 2π , Δ? = Δ?1 ? Δ?2 间接测尺频率法测距的基本原理:即通过测量fs1和fs2 频率的相位尾数并取其差值来间接测定相应的差频频 率的相位尾数。通常把fs1和fs2称为间接侧尺频率， 而把差频频率称为相当侧尺频率。 （三）相位测量技术 二、脉冲激光测距 脉冲激光测距是利用激光脉冲连续时间极短、能量 在时间上相对集中、瞬时功率很大(一般可达兆瓦级) 的特点， 有靶标的情况下，脉冲激光测量可达极远的测程。 在进行几公里的近程测距时，如果精度要求不高， 即使不使用靶标，只利用被测目标对脉冲激光的漫 反射取得反射信号，也可以进行测距。 应用: 地形测量、战术前沿测距、导弹运行轨道跟踪，以 及人造卫星、地球到月球距离的测量等。 主波:由脉冲激光器发出一持续时间极短的脉冲激光， 回波:经