用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台-光学精密工程.pdfVIP

第 10卷 　第6期 光学 　精密工程 Vol . 10 　No . 6 　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　 2 0 0 2 年 1 2 月 Optics and Precision Engineering Dec . 　2 0 0 2 ( ) 文章编号 　1004924X 2002 用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台 1 2 2 夏绍建 ,张耀明 ,邹丽新 ( 1. 中国科学院上海原子核研究所 , 上海 20 1800 ; 2 . 苏州大学 现代光学技术研究所 , 江苏 苏州 2 15006) 摘要 :介绍了用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台结构原理 ,其特点是 :结构紧凑 ,承载量大 , 精度高 ;采用步进电机驱动实现三维精密运动 ,并通过数字电路与软件实现其智能化 , 同时备有手动工 作模式 。 关 　键 　词 :同步辐射 ; 光束 ; 三维精密平台 中图分类号 :O432 . 1 　　文献标识码 :A 1 　引　言 3 　技术方案 ( ) 　　同步辐射 Synchrot ron Radiation 光束线 　　三维精密调整平台采用步进电机驱动实现其 (Beanline) 工程 中 , 需要多种多样的精密调整平 三维精密运动 ,并通过数字电路与软件实现其智 台 ,国内外厂家及专业公司提供了众多品种可供 能化 , 同时备有手动工作模式 。 选择[ 1 - 4 ] ;但是 ,在上海 同步辐射装置工程插入 3 . 1 　结构方案 件前端区预制研究中 , 需要一种小型化 、高精度 、 三维精密调整平台的整体结构采用了积木式 承载量大的三维精密调整平台 ,用于微米量级精 框架结构 。其框图如图 1 所示 。 ( ) 度金刚石光束位置监测器 B PM 的三维精密调 整 ,现有的标准产品均不能满足要求 ,于是 ,研制 成功了一种用于同步辐射光束线工程的新型三维 精密调整平台 ,达到工程预研需求 ,并通过国内专 家鉴定 ,该设备也可用于其他光学精密机械实验 室中。 2 　设计 目标 　　三维精密调整平台的性能技术指标 : ①行程 :12 . 7mm (垂直和水平方向) 图 1 　系统框图 μ 　定位精度 :10 m Fig. 1 　Block diagram of t he system . 　重复定位精度 :15μ m ②回转范围: ±2°　分辨率 :20 ″ 垂直移动部分在下面 ,其上面是水平移动部 ③工作模式 :步进电机控制和手动控制 分 , 回转部分在最上面 。平台垂直移动的结构采 ④承载量 :大于 70kg 　　收稿 日期 ;修订日期 　　基金项 目: 国家重点工程项 目- 上海同步辐射装置工程预制研究项 目; ( ) 苏州大学现代光学技术省重点实验室开放课题 No . T2 108106 第 6 期 　　　　　　　　　　夏绍建 ,等 :用于同步辐射光束线工程的三维精密调整平台