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- | 2015-04-30 颁布
- | 2015-10-01 实施
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YST 1025-2015 电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
ICS77.150.99
H 63
中华人民共和国有色金属行业标准
/ —
YST1025 2015
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
Hih-urittunstenandtunstenallo sutterin taretused
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inelectronicfilm
2015-04-30发布 2015-10-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
中华 人 民共 和 国有 色 金 属
行 业 标 准
电子薄膜用高纯钨及钨合金溅射靶材
/ —
YST1025 2015
*
中 国标 准 出版 社 出版 发 行
北京市朝阳区和平里西街甲 号( )
2 100029
北京市西城区三里河北街 号( )
16 100045
网址:
g
服务热线:
400-168-0010
010
年 月第一版
2016 1
*
书号: ·
155066 2-29184
版权专有 侵权必究
/ —
YST1025 2015
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
本标准由全国有色金属标准化技术委员会( / )提出并归口。
SACTC243
: 、 、
本标准起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司 有研亿金新材料有限公司 北京天龙钨钼科技
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