固态传感器讲义.pptVIP

第八章 固态传感器 ; §8-1 霍尔磁敏传感器 ;一、霍尔效应; 设霍尔片的长度为L，宽度为b，厚度为d。又设电子以均匀的速度v运动，则在垂直方向施加的磁感应强度B的作用下，它受到洛仑兹力 e—电子电量(1.62×10-19C)； v—电于运动速度。 同时，作用于电子的电场力 ;霍尔电势UH与 I、B的乘积成正比，而与d成反比。于是可改写成： ;设 KH=-RH / d ; 若磁感应强度B的方向与霍尔器件的平面法线夹角为θ时，霍尔电势应为： ; 霍尔片一般采用N型锗(Ge)、锑化铟(InSb)和砷化铟(InAs)等半导体材料制成。采用砷化铟材料作霍尔元件的比较多。 霍尔元件的结构比较简单，它由霍尔片，引线和壳体组成，如右图所示。 在短边的两个端面上焊出两根控制 电流端引线(图中的1、1’)，在长边中 点以点焊形式焊出两根霍尔电势输出 端引线(图中的2、2’)，焊点要求接触 电阻小(即欧姆接触)。 霍尔片一般用非磁性金属、陶瓷或环氧树脂封装。; 在电路中，霍尔元件常用下图所示的符号 表示： 霍尔元件的命名法：; 霍尔元件的基本测量电路如下图所示： 控制电流由电源E供电，R为调整电阻，以保证元件中得到所需要的控制电流。霍尔输出端接负载RL， RL可以是一般电阻，也可是放大器输入电阻或表头内阻等.; 1、UH—I特性 当磁场恒定时，在一定温度下测定控制电流I与霍尔电势UH，可得到良好的线性关系，如下图所示：; 2、UH—B特性 当控制电流保持不变时，元件的开路霍尔输出随磁场强度的增加不完全呈线性关系，而有非线性偏离。如下图所示：;六、误差分析及其补偿方法;2．不等位电势U0及其补偿 不等位电势是产生零位误差的主要因素。由于制做霍尔元件时，不可能保证将霍尔电极焊在同一等位面上，如图所示： 因此当控制电流I 流过元件时，即使磁感应强度等于零，在霍尔电势极上仍有电势存在，该电势称为不等位电势U0。在分析不等位电势时，可把霍尔元件等效为一个电桥，如上图所示。电桥的四个桥臂电阻分别为r1、r2、r3和r4。若两个霍尔电势极在同一等位面上，此时r1 ＝ r2 ??? r3 ＝ r4 ，则电桥平衡，输出电压U0等于零。 当霍尔电极不在同一等位面上时，因r3增大而r4减小，则电桥的平衡被破坏，输出电压U0不等于零。恢复电桥平衡的办法是减小r2或r3 。如果经测试确知霍尔电极偏离等电位平面的方向，则可以采用机械修磨或用化学腐蚀的方法来减小不等位电势，以达到补偿的目的。一般情况下，采用补偿网络来进行补偿。 ;;3．寄生直流电势 由于霍尔元件的电极不可能做到完全的欧姆接触，在控制电流极和霍尔电势极上都可能出现整流效应。因此，当元件在不加磁场的情况下通入交流控制电流时，它的输出除了交流不等电势外，还有一直流分量，这个直流分量称为：寄生直流电势。其大小与工作电流有关，随着工作电流的减小，直流电势将迅速减小。 产生寄生直流电势的原因，除上面所说的因控制电流极和霍尔电势极的欧姆接触不良，霍尔电势极的焊点大小不同，导致两焊点的热容量不同而产生温差效应，也是形成直流附加电势的一个原因。 寄生直流电势很容易使输出产生漂移，为了减少其影响，在元件的制作和安装时，应尽量改善电极的欧姆接触性能和元件的散热条件。 ;欧姆接触;4．感应电势 霍尔元件在交变磁场中工作时，即使不加控制电流，由于霍尔电势的引线布局不合理，在输出回路中也会产生附加感应电势，其大小不仅正比于磁场的变化频率和磁感应强度的幅值，并与霍尔电势极引线所构成的感应面积成正比(如下图所示)。 为了减小感应电势，除合理布线外，如下图所示，还可以在磁路中安置另一辅助霍尔元件，如果两个元件的特性相同，可以起到显著的补偿效果。;5．温度误差及其补偿 霍尔元件与一般半导体器件一样，对温度变化十分敏感。这是由于半导体材料的电阻率、迁移率、载流子浓度等随温度变化的缘故。因此，霍尔元件的性能参数，如内阻、霍尔电势等都将随温度变化。 为了减小霍尔元件的温度误差，除选用温度系数小的元件(如砷化铟)或采用恒温措施外，还可采用恒流源供电，这样可以减小元件内阻随温度变化而引起的控制电流的变化。但采用恒流源供电不能完全解决霍尔电势的稳定问题，因此还应采用其它补偿方法，如采用下图的补偿线路：; 在控制电流极并联—个适当的补偿电阻r0，当温度升高时，霍尔元件的内阻迅速增加，使通过元