从电子的发现到亚波长显微阴极发光简介-苏州德尓微仪器有限公司.PDF

苏州德尓微仪器有限公司 1/4 Suzhou Dervee Instrument Co., Ltd. 从电子的发现到亚波长显微：阴极发光简介 约瑟夫·汤姆逊，物理学家、诺贝尔奖获得者，在1897 年研究“阴极 射线”时偶然发现了电子。当时对阴极射线的认知还停留在阴极射线 是通过真空管道的连续电流。当时观察到带电粒子在真空管端部与原 子撞击受激，从而产生阴极射线和荧光。 约瑟夫·汤姆逊继续对这些神秘的射线进行研究。那时关于阴极射线 到底是“非物质”还是”记录带电粒子运动轨迹“的争论十分激烈。汤姆 逊针对阴极射线进行了多次试验，得到4 个发现：(1)阴极射线会受 磁场激励发生偏转 (2) 阴极射线本身带负电荷(3) 阴极射线受电场作 用发生偏转(4)阴极射线由极小带电荷的颗粒组成。因此阴极射线实 info@ +86 512-8166 0899 苏州市工业园区星湖街218 号生物纳米园A7-203 室，215123 Turning 苏州德尓微仪器有限公司 2/4 Suzhou Dervee Instrument Co., Ltd. 际上是一种物质粒子，同时带有负电荷。当时汤姆逊称之为微球颗 粒，这就是后来我们熟知的电子。 那么这与我们的阴极发光显微镜有什么关系？阴极发光成像，通常 定义为分析由阴极射线（我们现在称之为电子束）产生的可见光的过 程。对于亚原子尺度下分析材料性能，阴极发光是非常有用的显微 技术。在现实生活中，阴极射线也发挥着重要作用。比如在OLED ， LCD 和等离子电视出现之前，电视显像就是使用阴极射线管来成像 的。 在阴极发光扫描电镜中，我们使用SEM 电镜的电子束作为激发源。 高度聚焦的电子束轰击样品，科学家研究反弹电子携带的信息来研究 材料。 电子束轰击样品的同时，也会激发材料原子。当受激材料返 回基态时，释放出光子，我们收集光子信息并进行分析就可以得到有 用的材料性能信息，这就是阴极发光。用这种方法，我们可以观察 到材料的光学性能，同时可以研究SEM 获得的材料结构信息。 那我们为什么不直接用传统的光镜来直接观察样品的光学信息呢？光 镜最大的缺陷是分辨率太低，无法突破光衍射极限，最高分辨率理论 为其半波长。电镜和阴极发光，因为使用电子激发材料发光，可以精 准获得受激位置信息。除此之外，阴极发光相比传统光镜和普通扫描 电镜还有很多优点。电子束激发获得的光子携带丰富的材料信息，这 是SEM 本身无法提供的信息。例如：可以用阴极发光来测量纳米光 电子系统和纳米尺度下光电器件的电学性能。从样品激发的光信息可 以获得材料的LDOS （local density of states ）。换句话说，我们用阴 info@ +86 512-8166 0899 苏州市工业园区星湖街218 号生物纳米园A7-203 室，215123 Turning 苏州德尓微仪器有限公司 3/4 Suzhou Dervee Instrument Co., Ltd. 极发光可以分析光如何与物质耦合或者排斥，这些都是纳米光电子或 光电器件研究总最关心的问题。 一个无法取代SEM 阴极发光的研究场景，就是对金属纳米颗粒的光 学效应的研究。金属纳米结构的光学效应一部分取决于外部激励源对 材料的激发。激发源可以是一束光，但是光不能被聚焦小到纳米尺 度。因此要表征纳米结构的光学性能，无法采用长波的可见光作为激 发源。阴极发光可以完美解决这一问题，我们使用小束斑电子束在不 同位置激发材料，观察产生的阴极光就可以得到材料的信息。 阴极发光还有很多别的应用。在研究岩石和矿物时，我们可以探测 岩石中特征微量元素的分布，测量地质样品的生长历程。另外一个典 型应用就是研究砂石中石英。根据石油地质行业矿物的収光特性的特 点,结合扫描电镜来迚行材料成分、