- 1、本文档共5页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
德国ALLRESIST公司是从事光刻用电子化学品研发-汇德信科技
德国ALLRESIST 公司是从事光刻用电子化学品研发、生
产和销售的专业公司,有丰富的经验和悠久的传统。可以为您
提供各种标准工艺所用的紫外光刻胶,电子束光刻胶(抗蚀剂)
以及相关工艺中所需要的配套试剂。
北京汇德信科技有限公司作为德国ALLRESIST 的国内独
家代理,可以为国内用户提供高品质的光刻胶以及配套服务。
光刻胶种类齐全,可以满足多种工艺要求的用户。
光刻胶包装规格灵活多样(如30ml, 100ml, 250ml, 500ml, 1L, 2.5L 等),适合各种规模
的生产、科研需求。
交货时间短。
可提供技术咨询服务,可为客户定制特殊用光刻胶。
紫外光刻胶(Photoresist)
各种工艺:喷涂专用胶,化学放大胶,lift-off 胶,图形反转胶,高分辨率胶,LIGA 用胶等。
各种波长: 深紫外(Deep UV)、I 线(i-line)、G 线(g-line)、长波(longwave)曝光用光刻胶。
各种厚度: 光刻胶厚度可从几十纳米到上百微米。
电子束光刻胶(电子束抗蚀剂)(E-beam resist)
电子束正胶:PMMA 胶,PMMA/MA 聚合物, LIGA 用胶等。
电子束负胶:高分辨率电子束负胶,化学放大胶(高灵敏度电子束胶)等。
特殊工艺用光刻胶(Special manufacture/experimental sample )
电子束曝光导电胶,耐酸碱保护胶,聚酰亚胺胶(耐高温保护胶),全息光刻用胶,长波曝光胶,
深紫外曝光胶等特殊工艺用胶。
配套试剂(Process chemicals)
显影液、除胶剂、稀释剂、增附剂(粘附剂)、定影液等。
北京市海淀区学院路30 号科大天工大厦B 座1408 室(100083)
电话:01021/22 传真:010
网址: 电邮:contact@
正胶
AR-P 1200 喷涂用光刻胶(Spray Coating )
AR-P 1250 (铝刻蚀后结构)
适合喷涂(Spray Coating )的正性光刻胶,高灵敏度。胶层表面非常平整,且可
很好的保护粗糙的衬底表面,可用于复杂工艺。
AR-P 3100 薄胶
高灵敏度光刻胶,胶膜薄且均匀。在玻璃和镀铬表面附着力好,可用于光学器件
加工、掩膜制作、激光干涉曝光等。另有,AR-P 3170 可以做出 100nm ,甚至
更小的线条(几十纳米)。
AR-P 3170 (激光干涉,70nm 线宽)
AR-P 3200 厚胶
黏度大,可得到厚胶膜,厚度可达几十微米,甚至上百微米。胶膜覆盖能力好,
适合粗糙的 Wafer 表面涂胶,可很好的保护结构边缘。图形剖面边缘陡直。适
合做LIGA 或电镀工艺等。
AR-P 3500 ,AR-P 3500T 通用型光刻胶
AR-P 3210 (胶厚12μm,结构4μm)
适于集成电路制造中的掩膜加工。 高敏感、高分辨率且在金属和氧化物表面附
着力好。其中,AR-P 3500T 是针对 AR-P 3500 系列进行优化,而新研制的一
种光刻胶;性能和AR-P 3500 相似,同时还具备了良好的耐等离子刻蚀性能,
以及大的工艺宽容度。
AR-P 3700/3800 高分辨率光刻胶
可用于制作亚微米结构,如高集成电路等。甩胶层表面平整均匀,高敏感度,高
对比,良好的结构稳定性,工艺要求范围宽。AR-P 3840 为染色的光刻胶,可以 AR-P 3220(三维锥形结构)
降低驻波和散射等的影响。
AR-P 5300 单层Lift-Off 工艺用胶
Lift-off 工艺用胶,利用普通的光刻工艺便可很容易得进行剥离工艺。高敏感、高
分辨率, 且与金属和氧化物表面附着良好。
图形反转胶
您可能关注的文档
- 工业企业典型调查表培训讲义北京统计局.ppt
- 工业燃烧器-Docuthek.PDF
- 工作基准试剂-中国试剂网.PDF
- 工业矿物加工-哈沃科技.PDF
- 工程地质试验指导书文华首页.doc
- 工具机数位化-西门子.PDF
- 巧用涡流技术之3后海湾大桥轴承基座铝合金粉末怀疑漏涂案例.PDF
- 工程热力学 华北电力大学 第章.ppt
- 工作机械-光华高工.PDF
- 巨石文化之谜英法巨石阵.PDF
- 2023年河北省保定市高碑店市卫生健康局公务员考试《行政职业能力测验》历年真题及详解.docx
- 2023年河北省保定市安国市信访局公务员考试《行政职业能力测验》历年真题及详解.docx
- 信息必刷卷03(广东省专用)(解析版).docx
- 信息必刷卷02(天津专用)(原卷版).docx
- 信息必刷卷03(安徽专用)(原卷版).docx
- 热点08 工艺流程题 -2024年中考化学【热点·重点·难点】专练(江苏专用)(解析版).docx
- 专题06 比较异同类选择题(含答题技巧,题型专练60题)(解析版).docx
- 专题09 推断题、工业流程题、溶解度曲线题(解析版).docx
- 信息必刷卷04(湖南专用)(解析版).docx
- 信息必刷卷01(福建专用)(原卷版).docx
最近下载
- (完整版)数学英文词汇大全.docx VIP
- 完整版本圣三国蜀汉传攻略.docx
- 第4课用联系的观点看问题2024-2025学年中职高教版2023哲学与人生.pptx VIP
- 高中化学_电化学复习专题教学设计学情分析教材分析课后反思 .pdf
- 广告标识牌采购投标方案(技术标360页).docx
- 测绘地理信息安全保障措施通用标准审查细则(试行).doc VIP
- 语文课程实践技能智慧树知到期末考试答案章节答案2024年广州大学.docx
- 现代汉语词性辨析练习及答案.doc
- 广东省安装工程综合定额2010.pdf VIP
- 外研社高中英语必修一 Unit 5 The monarch’s journey 教学设计.docx
文档评论(0)