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激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列!
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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激光干涉结晶法制备一维周期结构的
纳米硅阵列!
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姚 尧 方忠慧 周 江 李 伟 马忠元 徐 骏
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黄信凡 陈坤基 宫本恭幸 小田俊理
!）（南京大学物理系，固体微结构物理国家重点实验室，南京 #!$$% ）
# ）（东京工业大学物理电子学系，日本东京 !’#()’’# ）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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利用激光干涉结晶方法，采用周期为 的一维（ ）移相光栅掩模调制 准分子激光器的脉冲激光束斑
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的能量分布，在不同厚度的超薄氢化非晶硅（ ：）膜内直接制备 有序纳米硅（ ）阵列 拉曼散射谱表明，样
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品上呈条状分布的受辐照区域发生晶化 原子力显微镜和透射电子显微镜测试结果表明： 的 阵列的周期和
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移相光栅掩模一样 随着 ： 膜厚度从 降至 ，通过控制激光的能量密度，每个周期中 条状分布
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区宽度可达到$ ,- 7 ,6(34 条状分布区的高分辨电子显微镜照片显示出清晰的,6(34 晶格像7
关键词：纳米硅，激光干涉结晶，移相光栅，定域晶化
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而形成了周期为 的 阵列 为了提高
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