压电晶体及其在液压阀中的运用.pdfVIP

浙江大学学报(工学版) Vo l. 42 No. 6 第 42 卷第日期 2008 年日月 Journal of Zhej iang Universi ty( Engineering Scie口ce) Jun. 2008 DOI: 10. 3785/j. iss口. 1008-973X. 2008. 06. 027 压电晶体及其在液压阀中的应用 欧阳小平气杨华勇气徐 兵徐秀华2 (1.浙江大学流体传动及控制国家重点实验室，浙江杭州 310027 ， 2. 浙江大学宁波理工学院，浙江宁波 315100) 摘 要:介绍了压电晶体的工作原理、优缺点及其力/位移输出特性，指出了压电晶体的高能量密度和高频响特性 是其应用于液压产品的主要原因.同时还介绍了压电执行器的两种主要类型 压电堆和弯曲型压电片，以及它们 的特点，并对两种执行器进行了比较，压电堆较弯曲型压电片响应更快、输出力更大.阐述了应用压电执行器必须 要解决的几个关键技术 微位移放大、温度补偿、驱动电源、控制器的特点及研究现状，指出关键技术还有待进 一步提高.总结了目前国内外压电液压阀的几种典型结构 直动型、先导型、混合型，及其特点和现状;直动型液 压阀频率最高但输出流量最小，混合型液压阀流量高但是频响最低，先导型液压阀的频率/流量位于直动型和混合 型之间.提出一种冲击型压电数字阀结构，克服了压电晶体输出位移小、温度变化敏感等问题，仿真结果表明，该数 字阀可以实现频响 200 Hz、压力 20 MPa、流量 10 L/mi口的要求. 关键词:压电晶体;液压阀;位移;温度补偿 中图分类号: TH137. 3 文献标识码^ 文章编号: 1008 - 973X(2008)06 - 1036 - 06 Piezoelectric actuator and its application in hydraulic valves OUYANG Xiao-pin矿， Y ANG H ua-yon矿， XU Bing 1 , XU Xiu-hua2 (1. Stαte Key Laborαtory 0/ Fluid Power Tra川mZSSIOηαηd Coηtrol ， Zhejiαηg University ， Hω19zhou 310027 ， Chiηα; 2.Niηgbo Institute 0/ Techηology ， Zhejiαηg University , Ningbo 315100 , Chiηα) Abstract: This work introduced the piezoelectric (PZT) actuator s working principle , pros and cons , and performance of output force and displacement. High energy density and fast frequency are the main reasons for employing the PZT actuator in hydraulic valves. Two types of PZT actuator namely the stack and bender were presented. The stack has faster response and larger force compared to the bende r. The key technologies of micro displacement amplifying temperature compensatio日， power supply driving and con troller of the PZT actuator were briefly introduc