第三章 长度尺寸的测量.pptVIP

在原子力显微镜的系统中，是利用微小探针与待测物之间交互作用力，来呈现待测物的表面之物理特性。所以在原子力显微镜中也利用斥力与吸引力的方式发展出两种操作模式：???????（1）利用原子斥力的变化而产生表面轮廓为接触式原子力显微镜（contact AFM），探针与试片的距离约数个?。???????（2）利用原子吸引力的变化而产生表面轮廓为非接触式原子力显微镜（non-contact AFM），探针与试片的距离约数十到数百?。 原子力显微镜（AFM）便是结合力检测部分、位置检测部分、反馈系统三个部分来将样品的表面特性呈现出来的：在原子力显微镜（AFM）的系统中，使用微小悬臂（cantilever）来感测针尖与样品之间的交互作用，测得作用力。这作用力会使cantilever摆动，再利用激光将光照射在cantilever的末端，当摆动形成时，会使反射光的位置改变而造成偏移量，此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整，最后再将样品的表面特性以影像的方式给呈现出来。 * 单晶硅光栅由三片平行排列的单晶微薄片组成。X射线经过第一片晶体(分束光栅)时，分成对称的零级和一级衍射光。两束光经过第二片晶体(镜面光栅)衍射，又形成各自的零级和一级衍射光，其中有两柬衍射光在第三片晶体(分析光栅)的位置处发生干涉。由于干涉条纹的间距等于晶体的晶面间距d，因此它与分析光栅组成了无间隙的光栅副：当分析光栅沿垂直晶面的方向移动一个晶面间距时，莫尔条纹就变化一个周期。通过记录莫尔条纹变化的周期数，即可求得微位移量的大小。 IBM科学家首次拍下单分子照片 二氧化锡薄膜 火星土壤 遭疟疾感染的人体红血球和蓝藻 2、X射线干涉仪 工作原理： 莫尔条纹 （单晶微薄片） 对于高精度的轴径，常用各种光学计量仪器，机械式测微仪，电动测微仪等进行比较测量。测量时，先用量块或标准件调好仪器的零位，然后将被测件放在工作台上进行测量。仪器指示值为被测轴径相对于调零基准的偏差值，加上量块或标准件的尺寸后即为被测轴径。 机械式比较仪?　和百分表和千分表、杠杆齿轮式测微仪或扭簧测微仪等机械式指示表作为放大、指示部件。杠杆齿轮式测微仪的工作原理与百分表和千分表相似。但第1级放大机构是杠杆，其分度值通常为1微米。扭簧测微仪是一种具有无机械摩擦放大机构的指示表。它的主要放大元件是一根从中间起一端向右扭曲，另一端向左扭曲的金属薄片（宽度为0.1毫米左右，厚度为0.005毫米左右），称为扭簧丝。在它的中间粘有一根直径约为0.06毫米的空心玻璃丝做的指针。当测杆上下移动时，可动支架把上下位移转换为左右位移，使扭簧丝缩短或伸长，并带动指针转一个角度，从表盘上即可读出测杆的位移量。扭簧测微仪的灵敏度很高,常见的分度值有1微米、0.5微米、0.2微米和0.1微米几种,最高可达0.02微米。示值范围一般为±50个分度值。机械式比较仪常用在车间和计量室测量工件外径和厚度等。 杠杆齿轮式测微仪的工作原理与百分表和千分表相似。增加了第1级放大机构——杠杆 * 带有刻度尺的透明玻璃分划板位于物镜的焦平面。光源照亮分划板，其上各点发出的光线经物镜成平行光，到反射镜后被反射，仍为平行光，经物镜后在其焦平面上成像。 * 其光路原理如图所示，被测工件放在测环14的三粒钢珠上，测头确定它的矢高顶点。光学系统将测头下面的刻尺5的刻划线成像于目镜9的视场中，旋转测微手轮8进行读数。 仪器光路原理：仪器光学系统由采光镜1、滤色片(兼保护玻璃)2、45°反光棱镜3和聚光镜4组成刻尺5的照明系统。刻尺5装在测轴的内部。刻度值为1mm刻划面与矢高测量线重合。测轴随装在测环14上的工件15的曲率半径不同而处于不同高度。物镜6将划尺5的毫米刻线放大5倍，经棱镜7折光上翘45°后，成像在目镜分划板11和尺盘12的刻划面之间。平板测微器13由测微手轮8通过一对伞齿轮、端面凸轮和杠杆机构使之摆动，摆动使毫米刻尺5通过物镜6所成的像在目镜视场中移动，毫米刻尺像在目镜视场中的移动距离与平板测微器13摆动角度呈确定的比例关系。分度值为0.1mm目镜分划板11将毫米刻尺的像细分十倍，分度值为0.001mm尺盘12通过平板测微器将毫米刻尺像的1／10位移再细分百倍。这样，目镜读数系统实现对毫米刻尺5的1000细分。小于0.001mm的读数可估读。 工件置于工作台上测头夹紧，测轴上有mm线纹尺（100mm），测微目镜分划板由10圈阿基米德螺旋线（1mm十等分）和100（0.1mm100等分）等分圆刻尺组成。 测量轴座和尾座可沿导轨移动。调零后，尾座固定，测量时，在目镜视场中读数：用mm线纹尺的像最近的双螺旋线对中mm线纹尺的像，得0.1mm读数，再读分圆刻尺的值并估读一位。 工作原理：照明光源4照亮