丙烯酸酯光致抗蚀干膜制备[精品].docVIP

丙烯酸酯光致抗蚀干膜制备 』年一,6 InformationRecordingMaterials2000Vo1.INo.3 丙烯酸酯光致抗蚀干膜制备 毛建国 (无锡市江南学院无锡214963) 杨鉴惠亏..口 (无锡市东华精细化工厂无锡214037) 摘要研究了(甲基)丙烯酸酯各组份对成膜树脂及抗蚀干膜性能的影响,并就曝光时间,光 敏引发剂品种,活性单体对干膜性能的影响也进}亍了讨论. 关键词光致抗蚀剂( .旦苎{亘堕墼堕垄錾!鉴型塾墨盒塑UV光固化一1一———～一 PhotoresistBasedon(meth)AcrylicEstersasMembrane-resin MaoJianguoYangJianhui AbstractTheeffectofthecomponentsofthe(meth)acPylatesonthepropertiesofboththe copolymersandthedryfilmsanstudied.Theotherfactors,e.exposuretime,photoinitators,andactive monomers.arealsodiscussed. KeywordsPhotoresists(meth1AcrylatesPhotoinitiatorsPhotosensitivepdymemUV?Curing 1前言 (甲基)丙烯酸酯单体品种多,性能各异,其共聚 物性能可在相当宽广范围内调整,因而我们在改性 苯丁成膜树脂的基础上,进一步研制了以全(甲基) 丙烯酸酯共聚物为成膜树脂的光致抗蚀剂,由此制 得的干膜性能有显着提高II 2实验 2.1原材料 (甲基)丙烯酸及其相应的酯,活性单体.均系工 业级.光敏引发剂,A为进口,B为国产二苯甲酮 2.2制备工艺 (1)成膜树脂合成:将一定量溶剂置于三颈瓶 中,加热到回流温度,在规定时间内加入混合单体, 引发剂,并保温一段时间.加入剩余量引发剂及溶 剂,继续反应一段时间,冷却出料 (2)干膜试样制备:取一定量成膜树脂溶液,按 配方加入活性稀释剂,光敏引发剂及各种添加剂,调 配成一定粘度,涂布于聚酯薄膜上,置烘箱中干燥. 2.3性能测试 粘度测定使用NDJ一79型旋转牯度计,在恒 O 温条件下测定. 感度及显影时间将干膜覆贴在覆钢板上, 以印刷线路照相底片为掩膜,并将光楔表(Du Pont,stofter21级)置于掩膜上,放人曝光机中 (自制,汞灯,功率lkW),曝光一定时间取出, 用稀碱水溶液在室温下显影.记录显影时间及 光级值. 膜厚测定使用LD—l型立式光学厚度计,测 定3个不同点厚度,以平均值表示之. 耐显室温碱水溶液刷洗lmin,考核剩余光级. 3结果与讨论 干膜用成膜树脂通常是用溶液聚合方法制 得,因而溶剂选择对成膜树脂的形态有直接的影 响. 如使用甲苯溶剂,则在聚合开始不久即会有聚 合物析出.在配制感光胶液时,需要重新溶解,增加 操作上的麻烦. 如使用二甘醇醚等高沸点溶剂,有聚合温度高, 反应速度快等优点,但相应地要求涂布温度高,干燥 速度及生产率均受到影响. 我们选用沸点适中的醇类,酮类溶剂,成膜树脂 信息记录材料2000年第1卷第3期 直接以溶液状态使用,通过调节配方组份,加料方 式,反应时间,引发剂用量及分子量调节剂等因素, 制得了适合于光致抗蚀膜用成膜树脂,其性能(见表 1)明显优于苯丁成膜树脂为基础的光致抗蚀剂…. 表1丙焦酸脂抗蚀干膜的性能 注:①序号,粘度均指成膜树脂; ②液体感光腔中使用光敏引发剂,备组甜相对比例不变.成膜对脂中古有一定数量按基保证干膜具有碱承藩性 uv固化取决于涂料的透紫外光特性,曝光时 间,所用引发剂的类型以及活性单体的光化学性质 【1 . 表11—2到Ⅱ一8,在将成膜树脂溶液与其它 组份配制成的感光胶涂布于燥后触摸有发粘感 觉,为此,在成膜树脂的合成配方中加人丙烯酸系 刚性硬单体及功能性单体以提高其刚性及表面滑 爽性. 由表1111—1到Ⅲ一4可见在加了上述单体 后.光级明显下降.但干膜表面性能得到很大改善 若组份中加入丙烯酸缩水甘油脂,如缩水甘油酯添 加超过一定量,会在长期存放及高温烘烤时发生交 联作用,以致无法显影,故丙烯酸系刚性硬单体及功 能性单体用量要适当. 曝光时问对干膜性能影响见表2由表可见,曝 光时间延长.光级增高通常光级提高,脆性会增 加,显影时间延长. 表2曝光时间对干膜性能影响 注:所用光敏引发剂为A, 为确保干膜曝光后快速固化,适当选择活性高 的光敏引发剂和光敏活化剂(光敏增效剂)是必要 的,其用量对活性单体的快速光固化及对干膜性能 也起着重要作用.显然,光敏引发剂A活性高于B, 而A与B的复合反而使光化学反应效率降低(见表 3). 表3光敏引发剂对干膜性能影响 注光戢