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n＋n组合结构半导体丙酮气敏元件研究 2005年第24卷第7期传感器技术(JournalofTransducerTechnology)41 n+n组合结构半导体丙酮气敏元件研究 杨留方,谢永安,赵鹤云.,赵怀志 (1.昆明理工大学材料与冶金工程学院,云南昆明650093; 2.玉溪师范学院物理与教育技术系,云南玉溪653100; 3.云南大学佐波传感技术研究中心,云南昆明650091; 4,昆明贵金属研究所.云南昆明650221) 摘要:n+n组合结构半导体气敏元件是基于气敏元件互补反馈原理的一种新结构半导体气敏元件. 该元件是由2种传导类型相同的敏感体A和B构成,A和B都是n型半导体材料.理论分析表明:当敏感 体A和B满足一定条件时,该元件具有高的选择性,同时,还具有好的热稳定性和高的灵敏度.通过试 验,获得了性能较好的n+n组合结构丙酮气敏元件. 关键词:气敏元件;n+n组合结构;选择性;热稳定性;灵敏度;丙酮 中图分类号:TN304文献标识码:A文章编号:1000—9787(2005)07—0041—03 Study0nn+ncombinedstructuresemiconductoracetone gassensingelement YANGIJiu.fang.XIEYong.an,ZHAOHe.yun,ZHAOHuai.zhi (1.FacultyofMaterialandMetallurgyEngin,KunmingUniversityofScienceandTechnology, Kunming650o93,China; 2.DeptofPhysandEducationalTech,YuxiNormalCoHege,Yuxi653100,China; 3.SabaTransducfionTechResCenter,YunnanUniversity,Kunming650o91,China; 4.InstituteofPreciousMetals,Kunming650221,China) Abstract:n+nstructuresemiconductorgassensingelementbasedonthecompensation一~edbackprincipleisa newtypegassensingelement.ThesensingelementiscomposedoftwosensitivematerialsAandBwhose conductivetypesarethesame.ThematerialsAandBalealln-typematerials.Theresultsanalyzedfroma theoreticalviewpointshowthatthesensingelementhashigherselectivity,betterthermal-stabilityandhigh sensitivitywhenthematerialsAandBsatisfycertainconditions.Throughtestingthecharacteristicsofthe combinedstructuresemiconductorgassensingelement,theperfectn+ncombinedstructureacetonegassensing elementiSfabricated. Keywords:gassensingelement;n+ncombinedstructure;selectivity;thermo—stability;sensitivity;acetone 0引言 气敏元件是气体检测,泄漏报警,控制装置的核心元 件.改善气敏元件性能,提高其选择性一直是气敏元件研 究的目标之一.目前,提高半导体电阻式气敏元件的选择 性的方法主要有:(1)添加催化剂,提高气敏材料的活性; (2)材料超微粒化;(3)寻找新的敏感特性好的材料;(4)在 表面涂一层特定材料,过滤掉干扰气体.但这些方法是 单纯依靠材料本身来提高气敏元件的选择性,在技术上是 有一定难度和限度的.为解决此问题,采用气敏元件的互 补反馈原理以及实现该原理的元件结构,即组合型 收稿日期:2005—03～21 基金项目:云南省科技厅中13国际合作项目(95E007) 半导体气敏元件J.基于这种原理的新型元件是由2种 传导类型相同的敏感体A和B构成,A和B都是n型半导 体材料.n+n型元件由于互补作用,可使选择性和灵敏度 大大改善,在一定条件下,还可显示出好的热稳定性. 1n+n组合结构半导体气敏元件原理 图1为现行结构气敏元件的原理图,为工作电压, 为元件加热电压,为输出信号电压.R.为固定电阻 器,其阻值不随气体