多元氮化物涂层+MoS2-HTi复合涂层结合强度测试结果与分析.docVIP

3.2.2.3 多元氮化物涂层＋MoS2-HTi复合涂层结合强度测试结果与分析 由于高钛含量的MoS2-HTi涂层具有优良的耐磨性，因此制备的多元氮化物＋MoS2-Ti复合涂层都是以MoS2-HTi作为顶层。 划痕试验结果表明，CrTiAlNⅠ+MoS2-Ti和CrTiAlNⅡ+MoS2-HTi复合涂层的临界载荷Lc大于60N，CrSiN＋MoS2-HTi复合涂层的临界载荷Lc为51N，说明MoS2-HTi涂层与多元氮化物涂层的结合性良好。CrTiAlNⅡ+MoS2-HTi复合涂层的划痕形貌划痕摩擦力曲线如图9所示，划痕内光滑无裂纹和剥落，说明CrTiAlNⅡ与MoS2-HTi涂层以及CrTiAlN与基体的结合性都很好。 a）划痕形貌 b）划痕试验摩擦力曲线 图9 CrTiAlNⅡ+MoS2-Ti复合涂层的划痕形貌划痕摩擦力曲线 图10为CrTiAlNⅡ+MoS2-HTi复合涂层的二次电子像和背散射电子像，可以看出MoS2-HTi层与CrTiAlN层的界面平整，界面处存在相互扩散的现象，CrTiAlN层与基体之间存在一个明显的成分过渡层，这种界面之间的成分扩散和过渡有利于提高结合强度，所以涂层的结合性良好。 a）二次电子像 b）背散射电子像 图10 CrTiAlNⅡ+MoS2-Ti复合涂层的横截面照片 3.2.2.4 C-Cr复合涂层结合强度测试结果与分析 压痕试验表明，涂层的附着性可评定为HF3，如图11（a）所示；划痕试验结果显示C-Cr复合涂层的临界载荷为30N，划痕内部涂层有轻微的剥落，划痕周围的涂层没有剥落，这说明C-Cr复合涂层的附着性较好，见图11（b）。划痕声发射曲线见图11（c）。 a）压痕形貌 b）划痕形貌 c）划痕声发射曲线 图11 C-Cr复合涂层的压痕形貌、划痕形貌和划痕声发射曲线 3.2.2.5 BCN复合涂层结合强度测试结果与分析 从图12和图13可看出，BCNⅠ涂层的附着性可评定为HF1，其划痕临界载荷为90N；BCNⅡ涂层的附着性可评定为HF2，但其划痕临界载荷为100N，说明两种涂层的附着性良好。 a）压痕形貌 b）划痕形貌 图12 BCNⅠ涂层的压痕形貌和划痕形貌 a）压痕形貌 b）划痕形貌 图13 BCNⅡ涂层的压痕形貌和划痕形貌 3.2.3 涂层摩擦性能测试结果与分析 部分涂层摩擦性能测试结果见表6。 表6 部分涂层在不同载荷下的摩擦系数 涂 层 MoS2 MoS2-LTi MoS2-HTi C-Cr BCNⅠ BCNⅡ μ（10N） － － － － 0.16 0.17 μ（20N） － － － － 0.30 0.42 μ（40N） 0.05 0.055 0.065 － － － μ（80N） 0.02 0.025 0.035 0.06 － － 3.2.3.1 MoS2-Ti复合涂层摩擦性能测试结果与分析 球盘磨损试验显示，MoS2-Ti复合涂层的摩擦系数μ低于0.07，随钛含量的升高摩擦系数增大，并且高载荷下涂层的摩擦系数较小，见图14。同时，含钛涂层的摩擦系数在磨损的初期较大，随后逐渐减小，而MoS2涂层没有这种情况。钛含量升高涂层的晶格畸变增大，致使MoS2层间滑动所需的切应力增加，所以摩擦系数增大。无序度大的含钛涂层在磨损过程中可能发生重新取向，易滑移的MoS2（002）晶面平行基体表面择优取向，使滑动阻力减小，因此摩擦系数减小。 a）40N b）80N 图14 MoS2-Ti复合涂层在不同载荷下的球盘磨损试验结果 涂层的比磨损率ω随钛含量的升高而降低，MoS2涂层的比磨损率为1.3×10-16m3/(N·m)，MoS2-HTi涂层的比磨损率为3×10-17m3/(N·m)，这说明通过共沉积钛可以提高MoS2涂层的耐磨性。MoS2涂层磨损的主要原因是在氧气和水蒸气的共同作用下MoS2氧化生成MoO3。一方面，共沉积的钛原子最有可能位于MoS2晶层之间，这种固溶方式可以有效地阻碍氧气和水蒸气向涂层内部扩散，从而提高涂层的抗氧化性和耐磨性。另一方面，共沉积钛提高了涂层的硬度和弹性模量，也有利于提高涂层的耐磨性。