一种基于带有特别的过滤和偏移调制的光栅投影的位移传感器外文翻译.docVIP

附 录 附录1 一位传感器，ControlLogix系列可编程序逻辑控制器(PLC)提供了多种接口类型：如以太网、ControlNet、DeviceNet、RS-232等等。ControlLogix以太网连接模块“1756-ENET”使用了EtherNet/IP、ControlNet等协议，并采用了专业的服务代码封装于以太网协议包中。针对“实验性物理和工业控制系统”(EPICS)开发的驱动程序使用了EtherNet/IP协议，从而使得控制器可以运行vxWorks RTOS、Win32和Unix/Linux的测试程序。现在来分析一下这个接口的特点和使用场合。 1 正文 一种基于石油光栅空间滤波和偏振调制位置传感器投射通过间滤波器光学系统经的光栅投影通过另一个光学系统成像形成莫尔条纹莫尔获取的位置信息在位置传感器，不同的正弦信号对象的位置测量是独立的光栅投影强度和对象的反射率来衡量在实验中，位置传感器的效力证明，均方根（RMS）的每个测量位置误差小于13纳米。位置的测量已在许多领域发挥了重要作用，例如制造，生物物理学，和自动控制在位置的测量方法，光学方法更兴趣，因为它具有高度的准确性非接触测量诸如图像测量，干涉仪，使用位置灵敏探测器（PDS）的直位测，测量光束方向垂直于物体表面临界入射焦距透镜组临界入射透镜起偏镜和镀板L4和检测光栅当分析仪是围绕4倍焦系统2，偏光器板和分析形成偏振调制器随着极化调制，信号光栅投影光的强度不敏感因此，该，通过检测调制 图①-1位置传感器示意图在图于4系统光轴定义为z轴同样2，y2和3，y3轴在4系统1的频平面上1轴平行光栅投影x0，0轴。光栅投影中心放置在x0轴的起该光栅投影空间的比例为1:1通过光栅投影振幅分布表示为 （①-1） 公式（①-1）中I1是在光栅投影强度随着透镜L1傅立叶变换，在4系统的频平面上的频率分布情况为（①-2） 式中λ是激光波长和f是L1的焦距在频平面上，作为空间滤波器，其过滤功能（①-3）因此，只有0，± 1衍射通过频率分布写为（①-4） 经L2傅里叶变换，在回焦平面振幅E(x2) 分布下式（①-5） 因此，在光栅投影图像的光强分布表示为（①-6） 被测物放在靠近L2 的背焦点的地方。L3的前焦点与L2的背焦点是重叠，4倍焦系统的1和2在纵向是对称的。经过对象反投影如果传感器的零平面距离，检测光栅投影图像将位（①-7） 式中θ是入射光角度。关于检测光栅投影图像的光强分布表示为（①-8） 式中R表示被测物的反射率。起偏器检测光栅槽为45 °它光栅图像正交极化相互，即和特殊光射线和特殊的图像强度分布表示为（①-9） （①-10） 两式中，－B/2≤x3－2x sinθ≤B/2。检测光栅有同投影光栅一样的周期和占空比，而且有平行的槽。检测放在轴X3的起（①-11） （①-12） 如果检偏镜透线与检测光栅槽间的角度是α，那么这两个通过检偏镜的莫尔信号表示如下： ，（①-13） （①-14） 检测器通过光通量探测器由下式给出（①-15） 当检偏镜绕4倍焦系统2的光轴转动角度为α时，莫尔信号的极化调制得以实现，它在检测器上表示为： （①-16） 此时，光强度信号被检测器转化为包含直流分量IDC和交变电流分量电力信号由放大器放大，其直和交流滤波电路分开（①-17） x的范围： （①-18） 在(17)中，IAC和IDC有相同的因子I1和R，因此，位移x与初始强度I1和反射率R无关。那么，激光输出强度和不同被测物的反射率将不会影响位移传感器。 按光路图所示，进行了实验785nm的平行激光照射投影光栅。投影光栅的周长为0.1mm，占空比为1:1。透镜L1的焦距为120 mm。4倍焦系统1的频率板上的孔径为3.5 mm。被测物放在一个能提供做上下线性运动的地方。4倍焦系统1的光轴线与正规物体间的夹角为84.5°。4倍焦系统2和4倍焦系统1有相同的光学参数，检测光栅和投影光栅有相同的光学参数。起偏器和检偏器是格伦泰勒棱镜0.05 mm的石英棱镜组成。检偏镜 图当垂直移动对象IAC/IDC（a）和均方根误差（）测量结果图2（b）显示了均方根（RMS）21位置误差均方根（RMS）13 nm。因此，象的高度位传感器最后，我们提出了一位传感器这种位置传感器是不敏感的光源和物体反射率的差异在输出变化该方法的可行性验证A position sensor based on grating projection with spatial filtering and polarization modulation Jianmlng Hu(胡建明)12，Aijun Zeng(曾爱军)1，and Xiangzhao Wang(王向朝) Shanghai Institute of Optics