常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法图作者唐晓山屈菊兰.docVIP

常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法（图） 作者：唐晓山 屈菊兰 扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像。它主要反映样品表面的立体形貌。由于样品的高低参差、凹凸不平，电子束照射到样品上，不同点的作用角不同，因此造成激发的二次电子数不同；再由于入射方向的不同，二次电子向空间散射的角度和方向也不同，因此在样品凸出部分和面向检测器方向的二次电子就多些，而样品凹处和背向检测器方向的二次电子就少一些；总之，样品的高低、形状、位置、方向等这些与表面形貌密切相关的性质，变成了不同强度的二次电子信息。电子束逐点扫描产生不同数量的二次电子，依次在荧光屏上显示出亮暗不同的点，也就是相应的像素。再由这些象素组成了完整的二次电子图像。 1、荷电效应 当入射电子作用于样品时，从样品上会发出二次电子，其发射率会随入射电子的加速电压而变化。图1是表示二次电子发射率随入射电子的加速电压变化的曲线，图中横轴V0 表示入射电子的加速电压，纵轴σ表示二次电子发射数与入射电子数之比，即σ=二次电子发射数/入射电子数。 ? 图1 二次电子发射随加速电压变化曲线 从图1 中可见，只有在V0=V01和V0 = V02时,σ等于1 ，即入射电子数与二次发射电子数相等，此时样品既不增加电子也没有失掉电子，样品不带电。除此两点外，样品会因吸收或失掉电子而带电。如果样品不导电（生物样品一般不导电），此时样品会因吸收电子而带负电