15犆狉犕状犕狅犞犃钢磁控溅射镀铝防护层耐腐蚀性能.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２５ ３ Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．３ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１２ ６ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｊｕｎｅ ２０１２ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１２．０３．００５ ｊ １５犆狉犕狀犕狅犞犃钢磁控溅射镀铝防护层耐腐蚀性能 ， １２ ２ ２ ２ ２ ２ 孟亚丽 ，代明江 ，侯惠君 ，林松盛 ，韦春贝 ，胡 芳 　 （ 广东工业大学 材料与能源学院，广州 ； 广东省工业技术研究院 新材料研究所，广州 ） １． ５１００８１ ２． ５１０６５０ 摘 要：采用磁控溅射技术，在 １５ＣｒＭｎＭｏＶＡ钢上镀覆一层纯铝防腐蚀薄膜。利用盐雾机、电化学测量 　 仪、扫描电镜和能谱仪对比基体和铝涂层样品的耐腐蚀性能，同时分析偏压、靶电流、沉积时间等因素对涂层 耐腐蚀性能的影响。结果表明，铝膜厚度为８．２ ｍ的样品，铝膜层晶粒均匀，大小为 １ ２ ｍ、膜／基界面平 μ ～ μ 整、结合良好，其中基体与膜层界面处致密的过渡层对提高样品的耐腐蚀性作用显著；在中性盐雾气氛中， 出现红锈； 膜沉积时间为 的样品，其自腐蚀电流比基体低 个数量级，达到 －８ ，能 ５１６ｈ Ａｌ １ｈ ２ 犻 ＝ ６．５３×１０ Ａ ｃｏｒｒ 有效提高基体的耐腐蚀性，膜层在中性盐雾腐蚀气氛下失效方式为逐层失效；薄膜沉积过程中，提高负偏压、 靶电流和镀膜时间，均能提高膜层的质量。 关键词：１５ＣｒＭｎＭｏＶＡ钢；磁控溅射；铝薄膜；耐腐蚀 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＧ１７４．４４４ Ａ １００７９２８９２０１２０３００２８０５ 　　　 　　　 犆狅狉狉狅狊犻狅狀犚犲狊犻狊狋犪狀犮犲狅犳犃犾狌犿犻狀狌犿犉犻犾犿狅狀１５犆狉犕狀犕狅犞犃犛狋犲犲犾 犫 犕犪狀犲狋狉狅狀犛狌狋狋犲狉犻狀 狔 犵 狆 犵 ， １２ ２ ２ ２ ２ ２ ， ， ， ， ， ＭＥＮＧＹａｌｉ ＤＡＩＭｉｎ ｉａｎ ＨＯＵＨｕｉ ｕｎ ＬＩＮＳｏｎ ｓｈｅｎ ＷＥＩＣｈｕｎｂｅｉ ＨＵＦａｎ ｇｊ ｇ ｊ ｇ ｇ