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静电放电及其危害防护 刘尚合 军械工程学院静电与电磁防护研究所 一、静电起电的基本原理 1.1 静电起电定义 静电起电包括使正、负电荷发生分离的一切过程，如通过固体与固体表面、固体与液体表面之间的接触、摩擦、碰撞，固体或液体表面的破裂等机械作用产生的正、负电荷分离。也包括气体的离子化、喷射带电以及在粉尘、雪花和暴风雨中的带电现象。 1.2 金属与金属的接触起电 两种不同的金属I和II相接触时,当它们之间的距离小于25×10-10m时，由于量子力学的隧道效应，两种金属内的电子穿过界面而互相交换。 由于两金属的功函数不同，对电子的吸引力不同，当达到平衡时，一种金属失去电子带正电，另一种金属得到电子带负电，界面两侧出现了等量异号电荷（偶电层），两金属之间产生了一定的电位差（接触电势差）。 1.3 静电带电序列(美国ESD协会） 物体的静电带电，又称静电起电，它是由于处于不同带电序列位置的物质之间接触分离（摩擦）使物体上正负电荷失去平衡而发生的静电现象。在大多数情况下，静电起电与放电是同时发生的，而且静电起电-放电是一个随机的动态过程，在这过程中，不仅有静电能量的传导输出，而且有电磁脉冲场的辐射。 二、静电的危害 静电放电引发的瞬时大电流（静电火花）引燃引爆易燃、易爆气体混合物或电火工品，造成意外燃烧、爆炸事故。 静电放电使人体遭受电击引发操作失误造成二次事故、静电场的库仑力作用使纺织、印刷、塑料包装等自动化生产线受阻。 第三类静电危害是由于静电放电的电磁辐射或静电放电电磁脉冲（ESD EMP)对电子设备造成的电磁干扰引发的各种事故。 随着电子工业的发展，半导体集成电路的集成度不断提高、功耗越来越低，电路的工作频率大大提高，导致电子设备对静电放电的作用越来越敏感，由静电放电危害造成的损失逐年增加。 在微电子领域，静电造成的损失全球每年高达数百亿美元。 三、ESD特点及其作用机理 2.1 静电放电的特点 高电位、强电场 瞬态大电流 宽带电磁干扰 2.1 静电放电的特点 高电位、强电场 瞬态大电流 宽带电磁干扰 2.1 静电放电的特点 高电位、强电场 瞬态大电流 宽带电磁干扰 2.2 静电 静电防护工程学 人类对电磁现象的认识是从研究静电现象开始的。 公元前600年，古希腊人就发现了琥珀经摩擦后会吸附轻小物体。 我国东汉时期王充所著《论衡》里有“顿牟辍芥”的记载。 西晋张华的《博物志》中有：今人梳头，解著衣，有随梳解结，有光者，亦有咤声的记载。 静电防护工程学虽然建立在经典静电学的基础之上，但是单纯使用传统的静电学概念和理论，有时无法解决静电防护工程学的实际问题。 静电防护工程学，是一门涉及到气体放电理论、材料科学和近代电测技术等多学科知识的新兴学科，其理论与技术正处在研究和发展阶段。 比如通常意义上的导体与非导体和静电导体与静电非导体在概念和量值划分方面有很大的差异；在静电防护工程学中不能简单地使用人们熟悉的欧姆定律去研究高压强静电场中的物质导电问题等。 四、静电危害的防护 4.1 形成危害的基本条件 4.2 防护对策 控制静电起电率，防止危险静电源的形成。 增大电荷消散速率，防止电荷积聚（主要是静电接地） 采用抗静电元器件（钝感火工品）降低场所危险程度 控制气体混合物浓度防止爆炸事故发生 采用抗静电设计和防护加固技术提高电路抗ESD/ EMP能力 加强静电安全管理(包括制订ESD控制程序计划、培训计划和实施计划等) 如何确定静电接地电阻 在静电测试中应注意的问题 关于静电动态电位测试 关于非接触式静电电压测试 关于静电测试方法和环境 4.4 微电子器件静电防护策略 确定敏感度等级 抗ESD设计 划分和确定防静电工作区 采取消除或减少静电积累的措施（消散和中和） 在防静电工作区外采取防静电包装 五、人体静电及其防护 5.1 人体静电的定义 人体由于行走、操作，或与其他物体接触、分离，或因静电感应、空间电荷吸附等原因使人体正负极性电荷失去平衡，而在宏观上呈现出某种极性的电荷积聚，从而人体对地电位不为零，对地具有静电能量，这种相对静止的，积聚在人体上的电荷称为人体静电。 5.2 人体静电电位极端值 5.3 人体静电防护 人体静电防护是个系统工程，只有防护措施完善配套，才能达到预期目的。 人体静电的防护系统包括着防静电工作服的人、穿防静电鞋袜、设置防静电地面。 必要时还要设置防静电工作台、防静电坐椅、并配上防静电腕带。 在静电危险场所，不准脱换衣服，不准拥抱、跑跳，这样才能有效地控制人体静电的危害。 防静电鞋 在人体静电防护中最主要措施是保证人体始终静电接地，而鞋就是人体静电接地的关键制品之一。 防静电鞋的鞋底电阻值为5.0?104-1.0?108?； 为了使人体能及时消除静电