光应用的新领域一激光清洗.doc

激光应用的新领域一激光清洗 激光应用的新领域—激光清洗的原理及应用概况。介绍了两种激光清洗的实例高重复率 激光高速清洗固体表面, 和激光清除宇宙空间垃圾。 激光清洗及特点 激光清洗是利用激光高速有效地清除清洁对象表面附着物或表面涂层的技术。就其清洗机理而言, 可分为两大类。一类是利用清洁基片也称为母体与表面附着物对某一波长激光能量, 具有差别很大的吸收系数。辐射到表面的激光能量, 大部分被表面附着物所吸收, 使之受热或汽化挥发、或瞬间膨胀, 并被表面形成的蒸汽流带动脱离物体表面, 达到清洗目的。而基片吸收能量极小, 不会被损伤。对此类激光清洗, 选择合适的波长和控制好激光能量, 是现安全高效清洗的关键。另一类是适用于清洁基片与表面附着物的激光能量吸收系数差别不大, 或基片对涂层受热形成的酸性蒸汽较敏感, 或涂层受热后会产生有毒物质等情况的清洗方法。通常利用高功率高重复率的脉冲激光冲击被清洗的表面, 使部分光束转换成声波。声波击中下层硬表面后, 返回的部分与激光产生的入射声波发生干涉, 产生高能波, 使涂层发生微小爆炸, 涂层被粉碎、压成粉末, 再被真空泵清除, 而底下的基片不会损伤。 激光清洗与机械磨擦清洗、化学腐蚀清洗、液体固体强力冲击清洗等传统清洗方法相比,有明显的优点。它高效、快捷、成本低对基片的热负荷和机械负荷小, 清洗为非损伤性废物可回收, 无环境污染安全可靠, 不损害操作人员健康多功能, 可以清除各种不同厚度、不同成份的涂层清洁过程易于实现自动化控制, 实现远距离遥控清洗。 激光清洗的发展与现状 1975年日刊报道了前苏联的几位科学家将激光技术用于清除水面漂浮的石油。不仅可以提高清除效率, 做到无二次污染, 而且能够回收石油。年前苏联的两位科学家又报道了用20W连续二氧化碳激光器清洁柏油路面的燃料斑和油斑, 高效而快捷。 随着气体激光器技术不断完善、价格降低半导体激光器功率不断提高、发光波长扩展固 体激光器日益成熟, 使得激光光源更趋于多样化、小型化, 易于操纵控制。激光清洗技术的研究和应用也随之获得迅速发展。其中应用最广、效果最佳的是固体表面的清洗。例如, ???短脉冲激光器清除物体表面尺寸在0.1微米的微小颗粒；用高重复率的激光清洗固体表面； 结构材料表面的激光清洗；激光清洗大理石石雕；激光清除磁头滑动装置中的颗粒等等。这些应用研究对激光清洗的机理进行了深入的探讨和实验研究。有些成果已转化成商品, 如计算机控制的自动、高效激光除漆机, 在飞机、轮船、潜艇、雷达和桥梁等设施的保养、维修中, 起着不可替代的作用。用脉冲激光器清洁工艺品和宝石获得英国资源保护改革奖闭。一种深紫外激光清洗表面沾污系统〕, 在电子学、微电子和工业用金属业中更为引入注目。它可去除80微米至0.1微米以内尺寸的微粒、金属离子、有机膜和氧化物。清洁速度快、成本低、非损伤、不产生废水、环境污染小, 成为微电子工业的新清洗工艺。一种结构紧凑、小巧灵活的激光清洁系统已被开发成功〕。它由小型固体激光器组成, 其光束通过光波导传输到工作头。带有扫描器, 清除宽度可调节。具有自动切断激光器的安全系统, 一旦激光切断, 封闭的工作头立即从加工表面抬起。清除的垃圾颗粒可通过带过滤器的吸尘器收集。 总之, 激光清洗技术经过近十几年的研究发展, 已由实验室研究走向应用开发。各种激光清洗机相继间世, 成为激光应用的又一新领域。 激光清洗应用实例 1用高重复频率激光高速清洗固体表面 用高效率、光速质量好、简单实用的激光器作为光源, 最大重复频率1000Hz,单脉冲最大输出能量500mJ,平均输出功率500W, 波长为拼10.6微米, 对此波长, 大多数固体如金属吸收系数较低, 而表面涂层中的酸性物质、有机物、水分等吸收系数很高, 有利于清洗固体表面而不损伤基片。激光清洗系统示意图如图, 由激光器、光路传输系统、样品控制台和真空泵组成。激光束被光路传输系统会聚成的细线, 入射到清洗样品表面上。样品控制台可以多方向移动, 调节激光入射点, 控制清洗线路。激光清洗深度与单位脉冲能量、激光焦点位置、样品控制台移动速度和脉冲重复频率有关。当单位脉冲能量、激光焦点位置和样品控制台移动速度确定时, 激光清洗深度和脉冲重复频率成正比。根据样品表面涂层材料、厚度等情况, 可在1Hz到1000Hz范围内调节激光重复频率, 控制激光清洗深度。用此激光清洗装置, 可以有效地除去不同材料、不同厚度的油漆、泥污物和铁锈。当激光单位脉冲能量密度为4.5焦每平方厘米, 激光焦点会聚于清洗样品表面, 样品控制台移动速度为10毫米每秒时时,40Hz 的激光重复频率便可清洗掉56微米的油漆, 而不损伤底层金属表面。实验表明, 在样品表面刷一层水, 可以增加涂层吸收系数, 清洗效果更好。激光入射点附近放置的